[发明专利]制造电子组件的装置及制造电子组件的方法无效
申请号: | 201010200188.6 | 申请日: | 2010-06-09 |
公开(公告)号: | CN102082103A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 金在光;宋长燮;郑俊锡 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;薛义丹 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 电子 组件 装置 方法 | ||
本申请要求于2009年12月1日在韩国知识产权局提交的第10-2009-0117644号韩国专利申请的优先权,其公开通过引用包含于此。
技术领域
本发明涉及一种用于制造能够注射成型固定吸附在多孔构件上的电子组件的装置及一种制造电子组件的方法。
背景技术
一般来说,要被安装在半导体基板的表面上的诸如半导体芯片、固体冷凝器等的电子组件是注射成型的。
注射成型相关电子组件的电子组件制造装置包括:制造模具,具有上金属模具和下金属模具;离型膜(release film)设置单元,设置离型膜到制造模具。
这里,电子组件安装在上金属模具上,填充有成型树脂的腔体形成在下金属模具上。
上金属模具包括真空抽吸孔,真空抽吸孔连接到真空抽吸单元以允许电子组件安装在真空抽吸单元上。
此外,为防止成型树脂粘着到制造模具,在腔体内安装离型膜。为在腔体内安装离型膜,在下金属模具处形成与真空抽吸单元连接的真空抽吸孔。
然而,电子组件制造装置有这样的问题,即由于抽吸腔体中的空气的压强,电子组件的外观不能保持为平坦。
此外,在离型膜被设置在真空抽吸孔上的状态下,注射成型电子组件,导致电子组件的外观的变形。
此外,由于真空抽吸孔需要在制造模具中加工,制造制造模具是不容易的。
发明内容
本发明的方面提供一种用于制造能够注射成型固定吸附在多孔构件上的电子组件的装置及一种制造电子组件的方法。
根据本发明的一方面,提供了一种制造电子组件的装置,包括:上金属模具和下金属模具,其中至少一个形成为多孔构件,在形成为多孔构件的一个金属模具上安装电子组件,上金属模具和下金属模具包括用于将电子组件容纳于其中的内部空间;离型膜设置单元,将离型膜设置到上金属模具和下金属模具的内部空间;成型树脂设置单元,将成型树脂设置到所述内部空间以注射成型电子组件。
电子组件可安装在上金属模具和下金属模具中的一个上,形成内部空间的腔体形成在上金属模具和下金属模具中的另一个上。
上金属模具和下金属模具中的一个可包括多孔构件,可通过上金属模具和下金属模具中的另一个抽吸离型膜,从而使离型膜安装在腔体上。
可通过安装框将电子组件安装在上金属模具和下金属模具中的一个上。
电子组件可为钽电容器,钽电容器中,安装框和引线框接触。
离型膜设置单元可包括离型膜设置辊和离型膜卷绕辊,可根据离型膜设置辊和离型膜卷曲辊中的至少一个的驱动来传输离型膜。
离型膜设置单元可包括具有空气喷射孔和真空抽吸孔的板,通过空气喷射孔将空气提供给内部空间。
根据本发明的另一方面,提供了一种制造电子组件的装置,包括:上金属模具和下金属模具,具有容纳电子组件的内部空间,上金属模具和下金属模具中的至少一个包括真空抽吸孔;吸附板安装在上金属模具和下金属模具中的一个上,使金属组件安装在吸附板上,吸附板包括多孔构件;离型膜设置单元,将离型膜设置到上金属模具和下金属模具的内部空间中;成型树脂设置单元将成型树脂设置到所述内部空间,以注射成型电子组件。
形成所述内部空间的腔体可形成在上金属模具和下金属模具中的另一个上。
上金属模具和下金属模具中的一个可包括多孔构件,可通过上金属模具和下金属模具中的另一个抽吸离型膜,从而使离型膜安装在腔体上。
所述上金属模具和下金属模具中的另一个可包括抽吸离型膜的真空抽吸孔,所述上金属模具和下金属模具中的接触离型膜的另一个可包括多孔吸附板。
气体连接空隙可形成在所述上金属模具和下金属模具中的另一个与多孔吸附板之间。
电子组件可通过安装框安装在吸附板上。
电子组件可为钽电容器,钽电容器中,安装框和引线框接触。
气体连接空隙可形成在上金属模具和下金属模具中的一个与吸附板之间。
离型膜设置单元可包括离型膜设置辊和离型膜卷绕辊,可根据离型膜设置辊和离型膜卷曲辊中的至少一个的驱动来传输离型膜。
离型膜设置单元可包括具有空气喷射孔和真空抽吸孔的板,离型膜可将空气喷射到空气喷射孔以将空气提供给内部空间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造