[发明专利]涂敷装置和涂敷方法

权利要求书

1.一种涂敷装置，在一台或多台架台上设置门形架，在该门形架上能移动地设有一个或多个涂敷头，该涂敷头备有充填了涂敷材料的材料收容筒和喷出来自该涂敷材料收容筒的涂敷材料的喷嘴喷出口；该门形架相对于设置在该架台上的基板载置台所搭载的基板移动，上述涂敷头相对于该门形架移动，从而该涂敷头相对于该基板移动，从上述喷嘴喷出口向上述基板上喷出上述涂敷材料；其特征在于，

从外部向该基板载置台运入上述基板是在从运入侧运送带运入的高度保持为与该基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的，并且，从上述基板载置台向外部运出该基板是在从该基板载置台运出到运出侧运送带的高度保持为与上述基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的；

该涂敷装置备有第1移动机构和第2移动机构；

上述第1移动机构，使该基板载置台在载置着上述基板的状态下、从运入侧运送带运入的该基板载置的位置移动到将该基板运出到运出侧运送带的位置；

上述第2移动机构使载置在该基板载置台上的该基板转动。

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

在上述架台上设有多台上述门形架；

设在上述多台门形架之中的任意门形架上的上述涂敷头，向上述基板上喷出不同于设在上述其它的门形架上的涂敷头的种类的上述涂敷材料。

3.如权利要求1或2所述的涂敷装置，其特征在于，设在上述同一个门形架上的上述多个涂敷头之中的任意涂敷头与其它的上述涂敷头，向上述基板上喷出不同种类的上述涂敷材料。

4.如权利要求1、2或3所述的涂敷装置，其特征在于，上述基板载置台备有基板移动机构和基板位置固定机构；

上述基板移动机构利用使上述基板在上述基板载置台上朝一个方向移动的滚子；

上述基板位置固定机构在上述基板载置台上吸附基板，将上述基板位置固定在上述基板载置台上。

5.如权利要求1、2或3所述的涂敷装置，其特征在于，上述基板载置台备有基板移动机构和基板位置固定机构；

上述基板移动机构在上述基板载置台上向上述基板喷射空气，使上述基板朝一个方向移动；

上述基板位置固定机构在上述基板载置台上吸附基板，将上述基板位置固定在上述基板载置台上。

6.如权利要求1至5中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，用耐压罩覆盖上述架台上的上述基板载置台的移动范围，用空气吸引机构把被该耐压罩覆盖着的内部设定为低于大气压的气压，在该低气压的环境内，用上述门形架的上述涂敷头对载置在上述基板载置台上的上述基板进行涂敷动作。

7.一种涂敷方法，在一台或多台架台上设置门形架，在该门形架上能移动地设有一个或多个涂敷头，该涂敷头备有充填了涂敷材料的涂敷材料收容筒和喷出来自该涂敷材料收容筒的涂敷材料的喷嘴喷出口；该门形架相对于设置在该架台上的基板载置台所搭载的基板移动，上述涂敷头相对于该门形架移动，从而该涂敷头相对于该基板移动，从上述喷嘴喷出口向上述基板上喷出上述涂敷材料；其特征在于，

从外部向该基板载置台运入上述基板是在从运入侧运送带运入的高度保持为与该基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的，并且，从上述基板载置台向外部运出该基板是在从该基板载置台运出到运出侧运送带的高度保持为与上述基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的；

该基板载置台在载置着上述基板的状态下、从运入侧运送带运入的该基板载置的位置移动到将该基板运出到运出侧运送带的位置；

使载置在上述基板载置台上的上述基板转动，修正θ轴偏差。

8.如权利要求7所述的涂敷方法，其特征在于，在上述架台上设有多台上述门形架；

设在上述多台门形架之中的任意门形架上的上述涂敷头，向上述基板上喷出不同于设在上述其它的门形架上的涂敷头的种类的上述涂敷材料。

9.如权利要求7或8所述的涂敷方法，其特征在于，设在上述同一个门形架上的上述多个涂敷头之中的任意涂敷头与其它的上述涂敷头，向上述基板上喷出不同种类的上述涂敷材料。

10.如权利要求7、8或9所述的涂敷方法，其特征在于，通过利用滚子的基板移动机构，使上述基板在上述基板载置台上朝一个方向移动，进行上述基板在上述基板载置台上的定位；

吸附定位后的上述基板，将上述基板位置固定在上述基板载置台上。