[发明专利]涂敷装置和涂敷方法

说明书

技术领域

本发明涉及液晶面板等平面板的制造，特别涉及向基板上实施密封材料等的涂敷、液晶滴下涂敷的涂敷装置和涂敷方法。

背景技术

制造液晶面板等的已往技术，作为其一个例子提出了制造液晶面板的装置(例如见专利文献1)，该装置备有在真空状态下实施处理的多个真空处理室、和在大气压状态下实施处理的多个大气处理室，在这些真空处理室之间、大气压处理室之间、真空处理室与大气压处理室之间，分别设有用于运送玻璃基板的与外部隔绝的机械手室，在这些处理室间运送玻璃基板时，机械手室的机械手把玻璃基板从一个处理室自动地运送到另一个处理室。

根据该已往的技术，直到玻璃基板成为液晶面板的处理都不介入人手，全部自动地处理，所以，几乎没有颗粒污染、分子污染。

另外，作为另一个例子提出了如下技术：在真空腔室内设有定位装置，把基板设置于该定位装置，将密封材料涂敷在基板上，把这样涂敷了密封材料的基板与另一基板这两个基板贴合，使密封材料硬化，最后注入液晶，在用该顺序制造面板时，在基板上形成密封材料的涂敷作业是在低于大气压的压力下进行的，另外，将两个基板贴合的作业是在大气压以下的压力下进行的(例如见专利文献2)。

根据该已往的技术，在低于大气压的压力下进行密封材料的涂敷、两块基板的贴合，所以，可以减少混入密封材料内的气泡，从而可减少由该气泡导致的切割不良、间隙不良、或液晶注入不良等问题，减少在基板周围扬起的灰尘等异物，也减少因异物引起的面板不良。

[专利文献1]日本特开平6-324297号公报

[专利文献2]日本特开平2001-13507号公报

发明内容

在LCD(液晶面板)等的平面板领域中，玻璃基板的尺寸的大型化急速地逐年推进，随之，其制造装置也大型化。另外，为了降低制造成本，要求减少在制造装置内部、周边扬起的灰尘，提高成品率，同时，要求抑制每一块面板的制造时间。

在上述专利文献1记载的已往技术中，从玻璃基板制造面板时，在将玻璃基板从大气压处理室运送到真空处理室时，从大气压状态到真空状态的真空形成时间是损失的时间，因此，存在总的制造时间增加的问题。

在上述专利文献2记载的已往技术中，在真空腔室内进行涂敷作业、基板的贴合作业时，往真空腔室内的组入、取出是由人手、机械手等进行的，由于被人手、机械手等保持着的基板上下动作等，周围的空气产生大的流动，灰尘随着该空气扬起。另外，不采用同一真空腔室而将具有不同功能的多台装置并排来制造面板时，在移交作为对象工件的玻璃基板时，也同样地，如果使用机械手等，则由于被机械手等保持着的玻璃基板的动作而引起周围空气的大流动，随着周围的空气流动，灰尘扬起。如果产生这样的灰尘扬起，则灰尘附着在面板上，提高了成为次品的概率。

另外，在上述专利文献2记载的技术中，作为第1例，在真空环境下进行涂敷作业时，在真空中涂敷了密封材料后暂时向大气开放，散布间隔件，对进行了点附接的紫外线硬化树脂照射紫外线而临时定位，并将两块基板贴合。然后，从定位装置中取出临时固定着的基板，放入另外准备的尼龙袋内，将袋内减压，即，再度成为真空，这样，对两块基板加压。然后加热，使涂敷的密封材料硬化，将两块基板粘接。最后，从袋中取出，即再次开放为大气压状态，在大气压中，封入液晶材料，制造液晶面板。因此，从密封材料的涂敷到液晶面板完成，采用经过两次真空状态、开放为两次大气压状态的制造顺序。

另外，作为第2例，在真空环境中进行贴合作业时，在大气压中涂敷了密封材料后，散布间隔件，对进行了点附接的紫外线硬化树脂照射紫外线而临时固定，并在真空中将两块基板贴合。然后，朝大气压状态开放，从定位装置中取出基板，用真空包装法、即再次成为真空状态，由此对两块基板加压。接着，在该真空包装状态下加热，使先前涂敷的密封材料硬化，将两块基板粘接。最后，从袋中取出，即再次开放为大气压状态，在大气压中封入液晶材料，制造成液晶面板。该例中也与上述同样地，从密封材料的涂敷到液晶面板的完成，采用经过两次真空状态、开放为两次大气压状态的制造顺序。

结果，无论第1例还是第2例，为了抑制气泡混入密封材料中，从密封材料涂敷到贴合的工序的涂敷作业、或贴合作业的任一方，都是在真空中进行的。但是，实际上，液晶注入前，在用热硬化树脂一边加压一边压接时再次成为真空状态，需要用于形成真空环境的时间。