[发明专利]高纯四氟化硅的制备方法

权利要求书

1.一种高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：其包括如下步骤：

(1)四氟化硅生成工序，用质量比为二氧化硅∶氟硅酸∶浓硫酸＝1∶(10～15)∶(38～42)反应，生成四氟化硅；

(2)四氟化硅提纯工序，生成的四氟化硅经气液分离、浓硫酸干燥及分子筛吸附处理得到高纯四氟化硅；

(3)硫酸生成工序，对四氟化硅生成工序中形成的含有氟化氢的废硫酸进行水蒸气蒸馏，生成的硫酸再回收利用到四氟化硅生成工序和四氟化硅提纯工序中。

2.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中所述二氧化硅的含量为99％以上。

3.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中浓硫酸的温度为60℃以下，浓硫酸的浓度为95％以上。

4.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(1)中氟硅酸为氟硅酸水溶液，氟硅酸水溶液的浓度为40％。

5.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中干燥处理所用的浓硫酸的浓度为95％以上。

6.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(2)中吸附处理所用的分子筛包括质量比为1∶1∶1的3A、4A和13X三种分子筛。

7.根据权利要求1所述的高纯四氟化硅的制备方法，其特征是：所述步骤(3)中的硫酸中所含的氟化氢的含量为50ppm以下。