[发明专利]一种四氟化碳的纯化方法有效
| 申请号： | 201010205744.9 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101863734A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 桂思祥;李忠灿;唐忠福;石平湘 | 申请（专利权）人： | 石平湘 |
| 主分类号： | C07C19/08 | 分类号： | C07C19/08;C07C17/38;C07C17/389 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红;黄爽英 |
| 地址： | 528000 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 纯化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氟化碳的纯化方法，其特征是：其包括如下步骤：
(1)将含有H2、O2、N2、C2F6、CO2、CO、SF6、C3F8、H2O杂质的四氟化碳气体充入闪蒸塔中，所述杂质的体积百分含量为：0.20％～0.50％H2，2.0％～3.0％O2，8.0％～10％N2，2.5％～4.0％C2F6，100～300ppm CO2，1.0％～1.5％CO，0.05％～0.08％SF6、0.20％～0.70C3F8，30～80ppm H2O，闪蒸塔内的温度冷却至-180～-130℃，压强降至1×104pa以下抽真空以使H2、O2、N2和CO在CF4中的总含量降至5ppm以下；
(2)步骤(1)处理后，将闪蒸塔内的温度升至-128～-90℃，在压强为0.1～1.0Mpa下进行闪蒸，将CF4从闪蒸塔中蒸出，蒸出来的CF4中残留有总含量在5ppm以下的SF6、C2F6、C3F8、H2O和CO2；
(3)步骤(2)处理后的气体在1.0～5.0Mpa条件下通过装有分子筛的吸附器，除去残留杂质得到高纯的四氟化碳。
2.根据权利要求1所述的四氟化碳的纯化方法，其特征是：装在所述吸附器中的分子筛按质量百分比包括：5A型分子筛50％和13X型分子筛50％。
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