[发明专利]维护装置及喷出装置

权利要求书

1.一种维护装置，沿喷出装置的主导轨移动，该喷出装置是将载置基板的基板载置台载置于水平固定的主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板的喷出装置，

其特征在于，

该维护装置具有：

载置于所述主导轨上的第一移动台；

使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；

配置于所述第一移动台上的载置台；

使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及

载置于所述载置台上的检查装置，

所述检查装置具有：

向测定对象物照射照明光的照明装置；以及

对照射了所述照明光的所述测定对象物进行摄影的摄影装置，

当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述摄影装置的焦点配置于从所述头的各所述喷出口喷出的所述液滴的飞行路径上时，

所述照明装置从摄影的所述液滴的飞行路径的侧方，向所述液滴照射所述照明光，

所述摄影装置在向摄影的所述液滴照射的所述照明光入射的位置进行摄影。

2.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

具有：控制装置，从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

3.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；

使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，

所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

4.根据权利要求2所述的维护装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；

使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，

所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

5.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，

所述摄影装置具有：

第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及

摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

6.根据权利要求2所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，

所述摄影装置具有：

第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及

摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

7.根据权利要求3所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，

所述摄影装置具有：

第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及

摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。