[发明专利]维护装置及喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种喷出口的维护装置及具有维护装置的喷出装置。

背景技术

伴随近年信息化社会的发展，对更大型的液晶显示装置的需求急剧增加，希望提高其生产性。在彩色液晶显示装置中，为使显示图像彩色化而使用彩色滤色器，彩色滤色器是通过在基板上的规定区域以规定的图案配置R(红)、G(绿)、B(蓝)三色油墨而制成的。

目前，油墨的喷出中大多采用喷墨(ink jet)方式。而在喷墨方式中存在，因喷出口周边及内部的油墨干燥固化或者灰尘附着于喷出口，而变得在喷出口产生堵塞或者喷出口的附着物成为阻碍，进而导致油墨的命中精度恶化这样的课题。

为解决该课题，如专利文献2及专利文献3所记载的装置，需要检测不良的喷出口的检查装置和从不良的喷出口擦去附着物的清扫装置。

在采用了以使头在基板上扫描的方式往返移动并在基板上喷出油墨的头移动方式的专利文献1记载的装置中，如专利文献2所记载的那样，将检查装置和清扫装置设置于不在基板的移动区域的别的场所，并使头移动到检查装置及清扫装置上进行不良喷出口的检查和清扫。

但是，在头移动方式的装置中，与基板的大型化成比例，油墨的喷出需要长的时间，另外，在均匀且以规定的间隔命中油墨时，对头的控制就变得很难。

为对大型的基板喷出油墨，需要采用头固定方式，该头固定方式是使多个头静止于基板的移动区域上，使基板在其下通过，且在基板上喷出油墨的方式。

专利文献1：(日本)特开平11-248925号公报

专利文献2：(日本)特开2003-191492号公报

专利文献3：(日本)特开2008-265321号公报

发明内容

本发明是为解决上述现有技术的不良情况而开发的，其目的在于提供一种维护装置，该维护装置构成为，能进行使基板在相对于水平基准面静止的多个头的下方通过，并向基板上喷出喷出液的喷出装置中的、各喷出口的清扫和检查。

为解决上述课题，本发明提供一种维护装置，沿喷出装置的主导轨移动，该喷出装置是将载置基板的基板载置台载置于水平固定的主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板的喷出装置，该维护装置具有：载置于所述主导轨上的第一移动台；使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；配置于所述第一移动台上的载置台；使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及载置于所述载置台上的检查装置，所述检查装置具有：向测定对象物照射照明光的照明装置；以及对照射了所述照明光的所述测定对象物进行摄影的摄影装置，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述摄影装置的焦点配置于从所述头的各所述喷出口喷出的所述液滴的飞行路径上时，所述照明装置从摄影的所述液滴的飞行路径的侧方，向所述液滴照射所述照明光，所述摄影装置在向摄影的所述液滴照射的所述照明光入射的位置进行摄影。

本发明提供维护装置，其中，具有：控制装置，从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

本发明提供维护装置，其中，所述副移动机构具有：固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

本发明提供维护装置，其中，所述照明装置具有：光源，产生所述照明光；以及第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，所述摄影装置具有：第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

本发明提供维护装置，其中，具有吸收喷出液的吸收布和使所述吸收布在垂直方向移动的升降装置的清扫装置被设置于所述载置台上，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述清扫装置配置于所述头的下方时，所述清扫装置使所述吸收布与所述喷出口接触，除去附着于所述喷出口的所述喷出液。