[发明专利]缺陷修正方法以及装置

说明书

技术领域

本发明涉及利用研磨带修正在彩色滤光片基板等各种工件的表面上存在的突起缺陷的缺陷修正方法以及装置。

背景技术

作为修正在FPD(平板显示器)用的玻璃基板等各种工件表面上存在的突起缺陷的方法，已经实用的方法有利用移动的研磨带修正突起缺陷的方法。在使用了该研磨带的缺陷修正方法中，一边使搭载有带移动机构的研磨单元仅下降预定量一边使研磨带移动，利用移动的研磨带研磨突起缺陷，对其进行修正以使突起缺陷成为容许高度以下。在该带研磨方法中，作为使研磨带与突起缺陷抵接的机构使用安装在研磨单元的前端的按压辊，一边从按压辊对突起缺陷作用预定的按压力一边使研磨带移动预定的长度(例如参照专利文献1)。作为另一突起缺陷修正方法，在研磨单元的前端设置可沿Z轴方向位移的中心销(head pin)，经由中心销将研磨带向突起缺陷按压，从而使研磨带移动(例如参照专利文献2)。

在上述现有的缺陷修正装置中，当进行突起缺陷的修正处理时，使研磨单元下降而使研磨带与突起缺陷抵接。同时，驱动卷筒而使研磨带移动，利用移动的研磨带研磨突起缺陷。当使研磨带移动预定的长度或移动预定的研磨时间后结束研磨，使研磨单元上升至预定的位置。紧接着，使研磨单元向另一个突起缺陷的位置移动，针对下一个缺陷进行修正处理。

专利文献1：日本特开平6-198554号公报

专利文献2：日本特开2007-253317号公报

在上述的利用了研磨带的缺陷修正方法中，能够以高精度修正或除去约数十μm的微小的突起缺陷，作为修正彩色滤光片基板的突起缺陷的装置非常有用。但是，由于每次进行研磨处理时都要卷绕预定长度的研磨带，因此存在带的使用效率低的缺点。图1是表示研磨处理后的研磨带的研磨痕迹的图。如图1所示，研磨带1的宽度约为3.81mm，与突起缺陷接触而进行研磨所利用的研磨区域2的宽度约为200μm左右。因此，剩余的大部分区域不用于研磨处理，存在带使用效率非常低，运转成本变高的缺点。

发明内容

本发明的目的在于实现改善带使用效率、使运转成本大幅度降低的缺陷修正装置以及缺陷修正方法。

本发明的缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

研磨单元，其对工件进行研磨处理；和

第一移动机构，其使研磨单元相对于平台上的工件，向与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向相对移动，

上述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使上述研磨带移动；

头端部，其以能够相对于上述研磨单元沿着上述第一方向相对移动的方式装配，使上述研磨带与工件表面抵接；和

第二移动机构，其使上述头端部相对于研磨单元沿着上述第一方向相对移动，

在研磨处理中，上述研磨单元和头端部相互同步地沿着上述第一方向朝向相互相反的方向相对移动。

在本发明的缺陷修正装置中，在研磨处理中，不仅使研磨带移动，还使研磨单元和头端部向与带移动方向正交的方向移动。通过一边使研磨带移动一边使研磨单元向与带移动方向正交的方向移动，移动的研磨带一边向与带移动方向正交的方向相对移动一边与突起缺陷接触。即，研磨带的速度矢量相对于突起缺陷具有带移动方向的速度矢量成分和与带移动方向正交的方向的速度矢量成分。另一方面，使研磨带与突起缺陷抵接的头端部，由于相对于研磨单元向与研磨单元的移动方向相反的方向以相同速度相对移动，所以该头端部相对于突起缺陷被维持于静止状态。其结果，在研磨处理中，突起缺陷相对于移动的研磨带，沿着相对于其移动方向(前进方向)倾斜的方向接触。因此，在研磨带上，形成有以相对于研磨带的中心倾斜的角度(90°和0°以外的角度)交叉的研磨痕迹，可将研磨带的几乎整个表面用于研磨处理。

作为使研磨单元向与带移动方向正交的方向移动的方式，能够利用龙门结构体相对于工件的相对移动以及设置于龙门结构体的修正头相对于工件的相对移动，或者能够利用使研磨单元相对于修正头相对地向与带移动方向正交的方向移动的方式。

本发明的另一缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

龙门结构体，其相对于平台沿着一个方向相对移动；

第一移动机构，其使龙门结构体移动；

修正头，其以能够向与上述龙门结构体的移动方向正交的方向移动的方式装配于上述龙门结构体；和

第二移动机构，其使修正头移动，