[发明专利]三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法

权利要求书

1.三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于它包括以下步骤：

(1)将合成三氯氢硅产生的尾气送入吸收塔，所述的吸收塔采用两段吸收，主吸收液为脱除氢气和氯化氢后的粗氯硅烷，副吸收剂为四氯化硅，副吸收剂在进入吸收塔前与第二氯化氢膨胀致冷器换热冷却后进入吸收塔，所述的吸收塔的塔顶排出的氢气经第一氯化氢膨胀制冷冷却器冷却后的液相组分回流至吸收塔顶，所述的吸收塔的塔釜排出的粗氯硅烷和氯化氢经第一换热器换热后汇同经第二换热器换热后的氯硅烷冷凝液共同送入精馏塔精馏；

(2)所述的精馏塔的塔顶馏分进入精馏塔顶设置的分凝器冷凝，经分凝器冷凝后的液相全部回流同时气相进入深冷器冷凝后以液相采出氯化氢，深冷器中采出的含有少量的氢气和氯化氢的气相混合物返回吸收塔作为进料；

(3)精馏塔的塔釜出料一部分进入后续的粗氯硅烷精馏系统，生产三氯氢硅和四氯化硅产品，另一部分由压差推动自流经第三换热器换热冷却后返回吸收塔作为步骤(1)中的主吸收液。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于：所述的步骤(1)中的第一和第二氯化氢膨胀制冷冷却器中的冷源为所述的步骤(2)中的深冷器中采出的液相氯化氢。

3.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于：所述的步骤(3)中的第三换热器依次包括水冷却器、第二换热器、第一换热器以及盐冷却器，所述的精馏塔的塔釜出料中的另一部分在第二换热器中与氯硅烷冷凝液换热并且在第一换热器中与吸收塔的塔釜出料换热。

4.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于：所述的步骤(1)中的合成三氯氢硅产生的尾气以0.4～0.6MpaA的压力送入吸收塔，吸收塔的塔顶操作压力低于尾气的压力10～20kPaA，副吸收剂经与第二氯化氢膨胀致冷器换热冷却至-50～-60℃后进入吸收塔，副吸收剂用量占主吸收剂重量的2～3％。

5.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于：所述的步骤(2)中的所述的精馏塔的塔顶操作压力为1.0～2.0MPaA，氯化氢在深冷器冷凝到-20～-35℃以液相采出。

6.根据权利要求1所述的三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法，其特征在于：精馏塔的塔釜出料的另一部分由压差推动自流经第三换热器换热冷却至-20～-35℃后返回吸收塔作为步骤(1)中的主吸收液。