[发明专利]三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种尾气绿色环保回收利用方法，特别是涉及三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法。

背景技术

三氯氢硅是一种重要的化工原料，可用于生产硅烷偶联剂和制备多晶硅，随着多晶硅产量的不断攀升，对三氯氢硅的需求量不断扩大。

三氯氢硅是由氯化氢与硅粉在0.12～0.20MPa(绝压)，250～350℃的反应条件下，在流化床反应器中进行合成的。反应的方程式为：Si+3HCl＝＝HSiCl₃+H₂，主要的副反应为Si+4HCl＝＝SiCl₄+2H₂，另外还有少量的二氯二氢硅生成。为了使硅粉反应完全，一股氯化氢在反应器中有5％-10％过量，因此三氯氢硅合成气中主要含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气和未反应的氯化氢，一股的组成(表1)为(wt.％)：

  H₂  HCl  H₂SiCl₂  HSiCl₃  SiCl₄  1.4～1.6  4～7.5  0.1～0.5  70～80  10～20

从表中可以看出，氢气和氯化氢含量较高，具有很高的回收利用价值。

三氯氢硅合成气经旋风、袋式除尘后经过循环水冷凝、冷冻水冷凝、压缩冷凝一系列操作后冷凝到-35℃，气液分离后形成以三氯氢硅、四氯化硅为主的氯硅烷冷凝液和以氢气、氯化氢为主的冷凝尾气，其典型组成(表2)为：