[发明专利]糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法

权利要求书

1.一种糊料涂敷装置，其特征在于，

具备：放置涂敷对象物的载物台；

排出糊料的喷嘴；

对使上述糊料从上述喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部；

使上述载物台和上述喷嘴在上述载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构；以及

控制部，控制上述调整部及上述移动机构，以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向相对移动，对上述载物台上的上述涂敷对象物将上述糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，

上述控制部在上述图形的描绘中对上述调整部及上述移动机构在下述场合进行如下控制：

在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述第一直线部进入上述拐角部的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度下降，降低上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离变窄，

在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述拐角部向上述第二直线部出发的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度上升，提高上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离扩大。

2.根据权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，

上述控制部对上述调整部及上述移动机构进行如下控制：

在上述拐角部进行以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度降低的速度为一定的控制，并且在该控制中进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的减少的应答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐扩大的控制。

3.根据权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，

上述控制部对上述调整部及上述移动机构进行如下控制：

在上述喷嘴的相对位置从上述拐角向上述第二直线部出发的场合进行以使上述载物台和上述涂敷头在上述面方向的相对速度上升的速度为一定的控制，并且在该控制中还进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的上升的应答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐变窄的控制。

4.一种糊料涂敷方法，使用放置涂敷对象物的载物台、排出糊料的喷嘴、对使上述糊料从上述喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部、以及使上述载物台和上述喷嘴在上述载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构，使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向相对移动，对上述载物台上的上述涂敷对象物将上述糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，上述糊料涂敷方法的特征在于，

在上述图形的描绘中对上述调整部及上述移动机构在下述场合进行如下控制：

在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述第一直线部进入上述拐角部的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度下降，降低上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离变窄，

在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述拐角部向上述第二直线部出发的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度上升，提高上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离扩大。

5.根据权利要求4所述的糊料涂敷方法，其特征在于，

对上述调整部及上述移动机构进行如下控制：

在上述拐角部进行以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度降低的速度为一定的控制，并且在该控制中进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的减少的应答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐扩大的控制。

6.根据权利要求5所述的糊料涂敷方法，其特征在于，

对上述调整部及上述移动机构进行如下控制：

在上述喷嘴的相对位置从上述拐角向上述第二直线部出发的场合进行以使上述载物台和上述涂敷头在上述面方向的相对速度上升的速度为一定的控制，并且在该控制中还进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的上升的应答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐变窄的控制。