[发明专利]光学检查装置和利用其的检查方法

权利要求书

1.一种光学检查装置，其特征在于包括：

支承单元，放置检查对象物；

第一照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生短波长的第一光，并向放置在所述支承单元上的所述检查对象物照射该第一光；以及

拍摄单元，拍摄所述第一光所照射的所述检查对象物。

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一光是蓝光。

3.根据权利要求1或2所述的光学检查装置，其特征在于，

所述第一照明单元包括：

第一光源，产生所述第一光；

分光构件，配置成与所述第一光源的射出面相对，根据入射的光的方向使所述光透过或反射所述光；以及

第一聚光构件，把利用所述分光构件反射的光汇聚，提供给所述检查对象物，并把从放置在所述支承单元上的所述检查对象物反射的光提供给所述分光构件。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学检查装置，其特征在于还包括：至少一个第二照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生第二光，并向放置在所述支承单元上的所述检查对象物照射该第二光。

5.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光具有与所述第一光相同的颜色。

6.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光具有与所述第一光不同的颜色。

7.根据权利要求6所述的光学检查装置，其特征在于，所述第二光是白光。

8.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，所述第一照明单元和所述第二照明单元配置成：在所述检查对象物上，所述第一光照射的区域和所述第二光照射的区域相互重叠。

9.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于，

所述第二照明单元包括：

第二光源，产生所述第二光；

平行光变换构件，配置成与所述第二光源的射出面相对，把从所述第二光源射出的所述第二光变换成平行光射出；以及

第二聚光构件，设置成隔着所述平行光变换构件与所述第二光源相对，把从所述平行光变换构件射出的所述第二光汇聚，提供给放置在所述支承单元上的所述检查对象物。

10.根据权利要求4所述的光学检查装置，其特征在于还包括：托架，与所述第二照明单元连接，并且固定在所述第一照明单元上。

11.根据权利要求10所述的光学检查装置，其特征在于，

所述第一照明单元设置成连接在所述托架的上端部，并且配置成射出所述第一光的射出面与所述检查对象物的检查面水平相对，

所述第二照明单元设置成连接在所述托架的下端部，并且配置成射出所述第二光的射出面相对于所述检查对象物的检查面倾斜。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的光学检查装置，其特征在于还包括：水平移动部，与所述拍摄单元和所述第一照明单元连接，在所述支承单元上部水平移动，改变所述拍摄单元和所述第一照明单元的水平位置。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述拍摄单元是线扫描式摄像机。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的放置所述检查对象物的面进行过无光镀处理。

15.根据权利要求14所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的放置所述检查对象物的面为黑色。

16.根据权利要求15所述的光学检查装置，其特征在于，所述支承单元的放置所述检查对象物的面被阳极氧化处理成黑色。