[发明专利]光学检查装置和利用其的检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及对检查对象物进行检查的检查装置，更详细地说，涉及利用对检查对象物进行拍摄得到的图像，对检查对象物进行检查的光学检查装置以及利用其的检查方法。

背景技术

显示影像的平板显示装置用于计算机和便携式终端机等多个领域。这样的平板显示装置通过使用者的操作，把与其对应的信息作为影像显示。

最近，为了使平板显示装置的操作变得容易，把触摸式面板应用于平板显示装置，提高了使用者的便利性。

触摸式面板包括坐标片，该坐标片用于生成使用者施加压力部位的位置值。由于这样的触摸式面板设置在平板显示面板的上面，所以与平板显示面板显示影像的显示区域对应的部分必须全部是透明材质。因此，坐标片包括透明的基体膜，在基体膜的上面形成用于生成使用者施加压力部位的位置值的导电性透明图案和镀银图案。

透明图案在与平板显示面板的显示区域对应的区域上形成，由与氧化铟锡或氧化铟锌相同的材料构成。镀银图案在与包围显示区域的周围区域对应的区域上形成，与生成使用者施加压力部分的位置值的外部装置以及透明图案和电路板连接。

特别是由于坐标片的基体膜和透明图案全都是透明的，所以通过利用探针检查装置这样的利用电信号的检查装置可以进行检查，而在用肉眼或摄像机的情况下不能进行检查。

专利文献1：韩国专利公开公报第10-2009-0039412号

发明内容

鉴于要解决上述问题，本发明的目的是提供一种可以提高检查效率的光学检查装置。

本发明另外的目的是提供一种利用光学检查装置的检查方法。

用于实现所述本发明目的的第一方面的光学检查装置包括支承单元、第一照明单元以及拍摄单元。

检查对象物放置在支承单元上。第一照明单元设置在支承单元的上部，产生短波长的第一光，并向放置在支承单元上的检查对象物照射该第一光。拍摄单元拍摄第一光所照射的检查对象物。

此外，用于实现所述本发明目的的第二方面的光学检查装置包括支承单元、垂直照明单元、第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元以及拍摄单元。

形成有透明图案的检查对象物放置在支承单元的上表面上。垂直照明单元设置在支承单元的上部，配置成长度方向的轴与支承单元的上表面垂直，产生短波长的第一光，并向放置在支承单元上的检查对象物以线形的方式照射第一光。第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元设置在垂直照明单元的下方，产生第二光，向放置在支承单元上的检查对象物以线形的方式照射第二光。射出第二光的所述第一倾斜照明单元的射出面和所述第二倾斜照明单元的射出面配置成相对于检查对象物的检查面相互向相反的方向倾斜。拍摄单元设置在第一照明单元的上部，拍摄第一光和第二光所照射的检查对象物。

此外，用于实现所述本发明目的的第三方面的光学检查方法如下所述。首先边向形成有透明图案的检查对象物照射短波长的第一光，边拍摄检查对象物。然后通过拍摄的图像对检查对象物进行检查。

这样的光学检查方法还可以包括检查有色图案的工序：边向检查对象物射出第二光，边拍摄检查对象物，通过照射第二光拍摄的图像检查在对象物上形成的有色图案。

用于实现所述本发明目的的第四方面的光学检查方法如下所述。首先边向形成有透明图案和有色图案的检查对象物同时射出短波长的第一光和第二光，边拍摄检查对象物。然后通过拍摄的图像对检查对象物进行检查。

按照本发明，光学检查装置由于照射短波长的光对检查对象物进行拍摄，所以利用拍摄的图像可以检查在检查对象物上形成的透明图案，可以提高检查效率。

附图说明

图1是简要表示本发明一个实施方式的光学检查装置的侧视图。

图2是表示具有触摸式面板的平板显示装置的剖视图。

图3是表示图2所示的坐标片的俯视图。

图4是表示图1所示的支承板的俯视图。

图5是沿图4的剖切线I-I’的剖视图。

图6是表示图1所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元的侧视图。

图7是表示图6所示的垂直照明单元以及第一倾斜照明单元和第二倾斜照明单元的主视图。

图8是表示图6所示的垂直照明单元的侧视图。

图9是表示图8所示的第一照明主体的剖视图。

图10是表示图9所示的第一照明主体的另一个例子的剖视图。

图11是表示图6所示的第一倾斜照明单元的侧视图。

图12是表示利用图1所示的光学检查装置检查ITO膜的检查方法的流程图。