[发明专利]具有剥离层的成型用模具或电铸母模

权利要求书

1.成型用模具，其特征在于，使在成型用模具表面施加有μm级以下的微细图案的成型用模具与含有式[1]

R_n-Si-X_4-n    ……[1]

表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使成型用模具表面形成含有有机薄膜的脱模层，所述式[1]中，R表示可以具有取代基的C1～20烃基、可以具有取代基的C1～20卤代烃基、含有连接基的C1～20烃基或含有连接基的C1～20卤代烃基，X表示羟基、卤素原子、C1～C6的烷氧基或酰氧基，n表示1～3的整数。

2.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，成型用模具为树脂成型用模具。

3.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，式[1]所示的硅烷类表面活性剂为正十八烷基三甲氧基硅烷。

4.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂是选自以下物质中的至少一种：金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合化或配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的水处理该金属醇盐类所得到的水解产物、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂。

5.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂是含有(a)选自金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合化或配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的水处理该金属醇盐类所得到的水解产物、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂中的至少一种物质和(b)所述硅烷类表面活性剂的组合物。

6.根据权利要求4所述的成型用模具，其特征在于，金属醇盐类是钛醇盐类。

7.根据权利要求5所述的成型用模具，其特征在于，金属醇盐类是钛醇盐类。

8.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，成型用模具是镍制成型用模具、不锈钢制成型用模具、或者玻璃制成型用模具。

9.根据权利要求2所述的成型用模具，其特征在于，树脂为丙烯酸树脂。

10.根据权利要求1所述的成型用模具，其特征在于，通过将成型用模具浸渍于有机溶剂溶液中，使成型用模具与有机溶剂溶液接触。

11.电铸母模，其特征在于，使在电铸母模表面施加有μm级以下的微细图案的电铸母模与含有式[1]

R_n-Si-X_4-n    ……[1]

表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使电铸母模表面形成含有有机薄膜的脱模层，所述式[1]中，R表示可以具有取代基的C1～20烃基、可以具有取代基的C1～20卤代烃基、含有连接基的C1～20烃基或含有连接基的C1～20卤代烃基，X表示羟基、卤素原子、C1～C6的烷氧基或酰氧基，n表示1～3的整数。

12.根据权利要求11所述的电铸母模，其特征在于，式[1]所示的硅烷类表面活性剂为正十八烷基三甲氧基硅烷。

13.根据权利要求11所述的电铸母模，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂是选自以下物质中的至少一种：金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合化或配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的水处理该金属醇盐类所得到的水解产物、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂。

14.根据权利要求11所述的电铸母模，其特征在于，可以与硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂是含有(a)选自金属氧化物、金属氢氧化物、金属醇盐类、螯合化或配位化的金属化合物、金属醇盐类的部分水解产物、用金属醇盐类的2倍当量以上的水处理该金属醇盐类所得到的水解产物、硅烷醇缩合催化剂及酸催化剂中的至少一种物质和(b)所述硅烷类表面活性剂的组合物。

15.根据权利要求13所述的电铸母模，其特征在于，金属醇盐类是钛醇盐类。

16.根据权利要求14所述的电铸母模，其特征在于，金属醇盐类是钛醇盐类。