[发明专利]具有剥离层的成型用模具或电铸母模

说明书

本申请是申请日为2005年12月28日、申请号为200580044909.6、发明名称为“具有剥离层的成型用模具或电铸母模”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及模具表面或母模表面形成了含有有机薄膜的脱模层的成型用模具或电铸母模，特别是树脂成型用模具，以及它们的制造方法。

本申请针对2004年12月28日提出的日本专利申请第2004-381941号及2005年4月19日提出的日本专利申请第2005-121597号要求优先权，并在本文中引用其内容。

背景技术

以往，关于耐剥离性优异、且透明性高，而不损害基板表面光泽及基板透明性的化学吸附单分子膜的制造，已知有几种方法(例如，参见专利文献1～3)。但是，以往的化学吸附单分子膜制造方法是通过氯化硅烷类表面活性剂和基板表面的活性氢的脱盐酸反应来形成覆膜的，因此存在制膜时产生有害的氯化氢气体的问题。

另外，还尝试了使烷氧基硅烷界面活性剂进行脱醇反应来形成分子膜，但是存在着反应速度慢、不能以简单方式成膜的问题。为了解决该问题，还考虑了使用脱醇催化剂，但是仅仅添加脱醇催化剂时，表面活性剂会因空气中的水分而进行自交联，从而失活。即，如果表面活性剂变得含水，则与基板表面反应之前表面活性剂就进行了自交联，存在着阻碍基板表面的固液界面上的反应，从而难以形成化学吸附膜的问题。

另一方面，作为在含有活性氢的基板表面上形成化学吸附膜的方法，已公开了使至少含有烷氧基硅烷类表面活性剂、不含活性氢的非水性溶剂、硅烷醇缩合催化剂的混合溶液与上述基板表面进行接触，从而在上述基板表面上形成通过硅氧烷键进行共价键合的化学吸附膜的化学吸附膜制造方法，作为硅烷醇缩合催化剂，可以例示选自羧酸金属盐、羧酸酯金属盐、羧酸金属盐聚合物、羧酸金属盐螯合物、钛酸酯及钛酸酯螯合物类中的至少一种物质(例如，参见专利文献4)。

另外，作为在基板表面上形成具有结晶性的化学吸附膜的方法，已知的有在滴有精制水的硅晶片表面上将硅烷类表面活性剂的有机溶剂溶液铺展，从而形成结晶性单分子膜的方法(例如，参见非专利文献1)。

作为形成疏水性覆膜的方法，已知的是使用在酸催化剂存在下水解的含氟烷基的硅烷化合物的水解产物单体或聚合物，通过硅醇基将由单分子层构成的疏水性覆膜固定在基板表面的方法(例如，参见专利文献5、6)。

另外，对于使模具的亲水性无机表面适合于合成树脂构造物的脱模，已知的有在无水情况下对亲水性无机表面进行硅烷化合物处理，通过氧桥将硅烷化合物的单分子层化学结合在亲水性无机表面上，在这种模具上设置脱模层的方法，在该方法中在减压下用硅烷化合物的蒸气处理亲水性无机表面，也有用溶解于有机溶剂中形成的硅烷化合物的溶液处理亲水性无机表面的方法(例如，参见专利文献7)。另外，已知的还有在对作为金属电解液中的电解材料的金属及母模(用于得到目标形状的制品的基础物件)进行通电，从而使金属电解，作为金属离子溶解在电解液中，并将金属电极沉积在母模上，使电极沉积的金属部分形成目标制品的电铸技术中，必须使电极沉积金属从母模上剥离，这种电极沉积金属从母模上的剥离决定着电铸的品质(例如，参见非专利文献2)。

专利文献1：特开平4-132637号公报

专利文献2：特开平4-221630号公报

专利文献3：特开平4-367721号公报

专利文献4：特开平8-337654号公报

专利文献5：特开平11-228942号公报

专利文献6：特开平11-322368号公报

专利文献7：特开昭62-236713号公报

非专利文献1：Bull.Chem.Soc.Jpn.，74，1397-1401(2001)

非专利文献2：表面技术，Vol.52，No.11，726-729(2001)

发明内容

本发明的课题是提供成型用模具表面或电铸母模表面形成了含有耐磨损性及剥离性优异的有机薄膜的脱模层的成型用模具或电铸母模，优选树脂成型用模具，以及它们的制造方法。

为了解决上述问题，本发明人等进行了深入的研究，结果发现在含有正十八烷基三甲氧基硅烷和由四异丙氧基钛及正十八烷基三甲氧基硅烷形成的溶液的甲苯溶液中，将模具表面施加了μm级以下的微细图案的镍制模具浸渍5分钟，浸渍后进行超声波清洗，从而形成含有耐磨损性优异的有机薄膜的脱模层，将具有该脱模层的镍制模具表面的微细图案转印到丙烯酸树脂上，为制备液晶显示屏用丙烯酸导光板而从镍制模具上剥离时，显示出了极好的剥离性能，从而完成了本发明。