[发明专利]镀膜装置与其蒸发源装置,及其蒸发源容器

权利要求书

1.一种镀膜装置，用于在真空内向被蒸镀基板表面包覆蒸镀材料，其特征在于，

具有：真空室；

在所述真空室内，加热所述蒸镀材料而产生该蒸镀材料的气体的装置；

将来自所述产生气体的装置的蒸镀材料的气体供应到所述被蒸镀基板表面的蒸发源装置，

所述蒸发源装置做成将多个蒸发源容器在垂直方向层叠的结构。

2.一种蒸发源装置，是镀膜装置的蒸发源装置，其特征在于，

具有：在内部形成空间，并且在其外部安装了发热装置的加热箱；以及

在所述加热箱的空间内，在垂直方向层叠并容纳的一个以上的蒸发源容器；

所述蒸发源容器分别在其中央部具有用于引导在该容器内产生的蒸镀材料的气体的贯通孔，并且，

所述加热箱具有导向部，该导向部形成于加热箱上部，用于收集从所述蒸发源容器通过所述贯通孔汇集的蒸镀材料的气体并向规定方向供应，并且在该导向部的一部分具有用于向规定方向供应该蒸镀材料的气体的开口部。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，

所述开口部形成于所述导向部的侧壁上。

4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，

在所述加热箱的空间内，在垂直方向层叠并容纳的一个以上的蒸发源容器在水平方向也并列配置多个。

5.一种蒸发源容器，其构成蒸发源装置的坩埚，其特征在于，

蒸发源容器具有：由高导热材料构成的容器，其断面形成为大致“U”字形，并且在容器的大致中央部形成用于放出气体的垂直方向的贯通孔，并以围绕着该贯通孔的方式形成；

覆盖所述容器的上面开口，并由高导热材料构成的盖体；以及

至少形成于所述坩埚及所述盖体之一上，用于将在所述容器内产生的蒸镀 材料的气体引导到所述贯通孔的间隙部。

6.根据权利要求5所述的蒸发源容器，其特征在于，

所述盖体落入到所述容器的上面开口部中。

7.根据权利要求5所述的蒸发源容器，其特征在于，

所述容器兼用于层叠的下部容器的盖体。

8.根据权利要求5所述的蒸发源容器，其特征在于，

由所述断面形成为大致“U”字形的所述容器围绕而形成的垂直方向的所述贯通孔向水平方向延伸地形成。

9.根据权利要求5所述的蒸发源容器，其特征在于，

所述断面形成为大致“U”字形的容器，设有用于将其内部分割成多个开间的隔壁。