[发明专利]低温泵及低温泵的监控方法

权利要求书

1.一种低温泵，从进行真空处理的真空装置的真空腔对气体进行排气，其特征在于，具备：

冷冻机；

低温板，由所述冷冻机冷却；以及

控制部，控制所述冷冻机的运行频率以便将所述低温板控制在目标温度，

所述控制部，在所述冷冻机的运行频率达到第1判定基准时，对所述运行频率进行第1判定时间的监控，在所述运行频率达到相当于比所述第1判定基准高负载的第2判定基准时，对所述低温板的温度进行短于所述第1判定时间的第2判定时间的监控。

2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述第1判定时间设定为长于加热所述真空腔而排出气体的烘烤处理所需的烘烤时间，所述第2判定时间设定为短于该烘烤时间。

3.如权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述控制部，从所述运行频率达到第1基准频率时开始起算所述第1判定时间，且对小于该第1基准频率的第2基准频率持续监控直到所述运行频率降低为止。

4.如权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述第1基准频率设定为大于所述真空处理中的设想的最大运行频率的值。

5.如权利要求3或4所述的低温泵，其特征在于，

所述控制部，在所述运行频率达到大于所述第1基准频率的第3基准频率时，监控所述低温板的温度。

6.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述低温板包括1级低温板和被冷却至比该1级低温板低温的2级低温板，

所述控制部，在将所述1级低温板控制在所述目标温度时，所述冷冻机的运行频率、所述1级低温板的温度以及所述2级低温板的温度均超过阈值的状态持续设定时间以上时，判定为所述冷冻机异常。

7.如权利要求6所述的低温泵，其特征在于，

所述控制部，在所述冷冻机的运行频率及所述1级低温板的温度超过阈值的状态持续所述设定时间以上，所述2级低温板的温度在所述设定时间内恢复时，判定为在所述真空装置中执行着烘烤处理。

8.一种低温泵的监控方法，所述低温泵对进行真空处理的真空装置进行排气，其特征在于，包括：

在当进行控制冷冻机的运行频率以便将低温板控制在目标温度的运行频率可变控制时，所述冷冻机的运行频率达到第1判定基准的情况下，对所述运行频率进行第1判定时间的监控，

在所述运行频率可变控制中，当所述运行频率达到相当于比所述第1判定基准高负载的第2判定基准时，对所述低温板的温度进行短于所述第1判定时间的第2判定时间的监控。