[发明专利]膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

权利要求书

1.一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：

一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；及

一个旋转轴，其与所述坩埚相连接，所述坩埚可以绕所述旋转轴旋转；

其特征在于：

所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，及一个驱动器；所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，所述驱动器具有一个驱动轴；所述驱动轴与所述平整盖相耦合，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部。

2.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述坩埚的容置孔为圆形孔，所述平整盖为圆盘结构，所述平整面为圆形平面，所述平整面的外径等于所述平整盖的外径且略小于所述容置孔的内径。

3.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述旋转轴设置于所述坩埚的底部的中央区域，且所述旋转轴与所述容置孔的中心轴同轴。

4.如权利要求3所述的膜料加工装置，其特征在于，所述驱动器的驱动轴与所述容置孔的中心轴相垂直，所述驱动轴的中心与所述容置孔的中心轴的距离等于所述平整盖的中心与所述驱动轴的中心的距离，且所述容置孔的中心轴位于所述平整盖的中心绕所述驱动轴旋转的路径的切线方向上。

5.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述旋转轴为伸缩轴结构，其可使所述坩埚相对于蒸镀腔体的底部升降。

6.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个连接臂，所述连接臂具有一个连接端，及一个与所述连接端相对的耦合端，所述连接端与所述平整盖相连接，所述耦合端与所述驱动器的驱动轴相耦合。

7.如权利要求6所述的膜料加工装置，其特征在于，所述连接臂沿所述平整盖的径向设置于所述平整盖的边缘。

8.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述坩埚由热传导性金属材料制成。

9.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述平整盖由热传导性金属材料制成。

10.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个传送机构，所述驱动器连同所述平整盖一起设置于所述传送机构上，所述传送机构带动所述驱动器及所述平整盖相对于所述坩埚相对或背离运动。

11.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀膜设备包括腔体及设置在所述腔体内的如权利要求1～10任一项所述的膜料加工装置。