[发明专利]膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种膜料加工装置，尤其涉及一种设置于离子辅助蒸镀系统内用于平整膜料的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

背景技术

光学薄膜一般采用蒸镀法(Evaporation Deposition)、离子辅助蒸镀法(Ion Assisted deposition，IAD)或离子溅镀法(Ion Beam Sputtering Deposition，IBSD)进行镀制。

离子辅助蒸镀具有独立的离子源，安装简单，对原系统的影响低，且离子束的范围大，分布均匀，拥有良好的动能，可以较轻易地将膜层压紧，得到附着力良好的膜层等优点，其采用程度较高。离子辅助蒸镀中，要求膜料(即蒸镀靶材)表面平整、内部结构致密，具有较好的洁净度，并避免存在颗粒状或纤维状的杂质，以确保蒸镀加工过程蒸镀速率稳定，在镀膜件上形成质量较佳的膜层。因此，通常需要先制取供离子辅助蒸镀加工使用的表面平整、内部结构致密的膜料。目前，制取膜料一般是先将颗粒状的膜料原料放入蒸镀腔中的金属坩埚内，并采用人工的方式进行平整，然后在真空环境里利用高能电子束进行加热，使坩埚内的膜料原料受热完全熔化，最后冷却完全熔化的膜料原料，即获得膜料。

但是，采用人工方式对坩埚内的膜料颗粒进行平整时，易受颗粒大小差异性及颗粒间孔隙的影响，而使得膜料原料在后续熔化时受热不均，造成最终获得的膜料出现表面凹凸不平、内部结构不致密等现象。对此，现有技术通常是对膜料进行再次的人工平整，由此，在人工平整过程中易出现人为污染膜料的现象，且人工平整需要反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，直接造成加工工时的浪费；此外，频繁地破真空与抽真空，较易影响真空泵的寿命及工作效率。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种易于实现的、可有效解决现有技术中存在的问题的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括一个坩埚，及一个旋转轴。所束坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述旋转轴与所述坩埚相连接，所述坩埚可以绕所述旋转轴旋转。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，及一个驱动器。所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料，所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面。所述驱动器具有一个驱动轴，所述驱动轴与所述平整盖相耦合，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔。所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部。

一种蒸镀设备，其包括一个膜料加工装置，所述膜料加工装置包括一个坩埚，及一个旋转轴。所束坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述旋转轴与所述坩埚相连接，所述坩埚可以绕所述旋转轴旋转。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，及一个驱动器。所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料，所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面。所述驱动器具有一个驱动轴，所述驱动轴与所述平整盖相耦合，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔。所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部。

相对于现有技术，本发明的膜料加工装置具有如下优点：其一，利用驱动器与平整盖，可以在制取膜料的过程中实现自动平整坩埚内的膜料，使膜料均匀受热，确保最终获得表面平整、内部结构致密的膜料，便于后续获得速率稳定的蒸镀加工过程。其二，无需反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，既减少了不必要的工时浪费，也可以避免因频繁地破真空与抽真空而影响真空泵的寿命及工作效率。其三，实现自动平整坩埚内的膜料可以避免人工平整过程中，出现人为污染膜料的现象。其四，采用具有所述膜料加工装置的蒸镀设备进行蒸镀加工时，可以在制取膜料至蒸镀加工的整个过程实现自动化操作，有利于提高蒸镀效率。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的膜料加工装置的示意图。

图2是图1所示的膜料加工装置平整膜料时的工作状态示意图。

图3是本发明第二实施例提供的具有图1所示的膜料加工装置的蒸镀设备的示意图。

主要元件符号说明

坩埚              10

容置孔            11

旋转轴            20

平整盖            30

平整面            31

驱动器            40

驱动轴            41