[发明专利]化学增幅型抗蚀剂组合物及其所使用的盐无效
| 申请号： | 201010239691.2 | 申请日： | 2010-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101967116A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;吉田勋;山口训史 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/17;C07C303/32;C07D333/46;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型抗蚀剂 组合 及其 使用 | ||
1.式(A1)所表示的盐，
式(A1)中，Z+表示有机阳离子；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者直链状或支链状的C1-6全氟烷基；La1表示-(CH2)m1-，m1表示1～6的整数，所述-(CH2)m1-的亚甲基可以被氧原子-O-或羰基-CO-取代，所述-(CH2)m1-的氢原子还可以被直链状或支链状的C1-4脂肪族烃基取代；La2表示单键、-O-(CH2)L1-或-CO-O-(CH2)L1-，L1表示1～6的整数，所述-(CH2)L1-的亚甲基可以被氧原子或羰基取代，所述-(CH2)L1-的氢原子还可以被直链状或支链状的C1-4脂肪族烃基取代；Ra1表示2价的环式C4-36脂肪族烃基或2价的C6-18芳香族烃基，所述2价的环式脂肪族烃基或所述芳香族烃基的氢原子可以被卤原子、直链状、支链状或环式的C1-12脂肪族烃基、C7-21芳烷基、环氧丙氧基或C2-4酰基取代，所述2价的环式脂肪族烃基的氢原子还可以被C6-20芳香族烃基取代，所述直链状、支链状或环式的脂肪族烃基或者所述芳烷基的亚甲基还可以被氧原子或羰基取代；Ra2为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基，
式(II-1)中，Ra3和Ra4各自独立地表示氢原子，或者直链状或支链状的C1-12脂肪族烃基；Ra5表示直链状、支链状或环式的C1-24脂肪族烃基，
式(II-2)中，Ra6表示2价的C2-24脂肪族烃基，Ra7表示直链状或支链状的C1-12脂肪族烃基。
2.根据权利要求1所述的盐，其中，Ra1用式(I-1)、式(I-2)、式(I-3)或式(I-4)中的任一者表示，
3.根据权利要求1或2所述的盐，其中，La1表示-CO-O-或-CO-O-(CH2)k1-，k1表示1～4的整数。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的盐，其含有式(a1-1-1)、式(a1-1-2)、式(a1-1-3)、式(a1-1-4)、式(a1-1-5)、式(a1-2-1)、式(a1-3-1)或式(a1-4-1)或式(a1-5-1)所示的阴离子，
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