[发明专利]去电装置的监视装置及监视方法及去电装置的监视用程序

权利要求书

1.一种去电装置的监视装置，其是监视相对地移动载置了被检查体的载置台和探针卡，在使所述载置台上的所述被检查体和所述探针卡电接触来进行所述被检查体的电气特性检查期间，使用放电开关电路使对所述载置台进行接地的接地用配线的电路闭合而从所述载置台除去所述被检查体所带的静电的去电装置的装置，所述去电装置的监视装置其特征在于，具备：

检测开关电路，其与所述放电开关电路连动并且检测所述放电开关电路的误动作；

检测驱动电路，其开闭该检测开关电路；以及

判定电路，其通过所述检测开关电路判定所述放电开关电路的误动作。

2.根据权利要求1所述的去电装置的监视装置，其特征在于，

所述去电装置具有所述放电开关电路、开闭所述放电开关电路的放电驱动电路，

所述放电开关电路，在所述被检查体未与所述探针卡电接触时闭合所述接地用配线的电路来从所述载置台除去所述被检查体所带的静电，在所述被检查体与所述探针卡电接触时断开所述接地用配线的电路来中断从所述载置台放电。

3.根据权利要求1或2所述的去电装置的监视装置，其特征在于，

所述接地用配线与所述载置台的载置面连接。

4.根据权利要求1或2所述的去电装置的监视装置，其特征在于，

所述检测开关电路及检测驱动电路构成为继电器开关。

5.一种去电装置的监视方法，其是监视相对地移动载置了被检查体的载置台和探针卡，在使所述载置台上的所述被检查体和所述探针卡电接触来进行所述被检查体的电气特性检查期间，使用放电开关电路闭合对所述载置台进行接地的接地用配线的电路而从所述载置台除去所述被检查体所带的静电的去电装置的方法，所述去电装置的监视方法其特征在于，包括以下步骤：

第一步骤，监视在所述被检查体未与所述探针卡电接触时，为了从所述载置台除去所述静电而使所述接地用配线的电路闭合的所述放电开关电路；

第二步骤，监视在所述被检查体与所述探针卡电接触时，为了停止从所述载置台除去静电而断开所述接地用配线的电路的所述放电开关电路；

第三步骤，在所述第一步骤中断开了所述放电开关电路时，判定所述放电开关电路误动作。

6.一种去电装置的监视用程序，其是计算机驱动来执行监视去电装置的方法的程序，该去电装置使被检查体的载置台和探针卡相对地移动，在所述载置台上的所述被检查体和所述探针卡电接触来进行所述被检查体的电气特性检查期间，使用放电开关电路使对所述载置台进行接地的接地用配线的电路闭合而从所述载置台除去所述被检查体所带的静电的，所述去电装置的监视用程序其特征在于，包括以下步骤：

第一步骤，监视在所述被检查体未与所述探针卡电接触时，为了从所述载置台除去所述静电而使所述接地用配线的电路闭合的所述放电开关电路；

第二步骤，监视在所述被检查体与所述探针卡电接触时，为了停止从所述载置台除去静电而断开所述接地用配线的电路的所述放电开关电路；

第三步骤，在所述第一步骤中断开了所述放电开关电路时，判定为所述放电开关电路误动作。