[发明专利]一种扫描电镜样品台及扫描电镜有效
| 申请号： | 201010243949.6 | 申请日： | 2010-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101916706A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘燚 | 申请（专利权）人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 何凌 |
| 地址： | 518116 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 | ||
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台，所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔，所述的插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。
2.如权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的插孔为贯穿插孔台的通孔。
3.如权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的插孔台上规则分布有两个以上具有不同内径大小的插孔。
4.如权利要求2或3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，插孔台上的插孔的内径小于微型刀具柄部上套环的直径。
5.如权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的外筒的内壁设有螺纹，对应的，所述与外筒连接的插孔台的外壁也设有与外筒相配合的螺纹；所述的插孔台的圆形表面上设有凹槽，所述的凹槽设置在外筒的轴心处。
6.如权利要求5所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的扫描电镜样品台还包括圆饼状的托台，所述的托台设置在插孔台的下方，托台与外筒连接的外壁也设有与外筒相配合的螺纹。
7.如权利要求3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的插孔台上在每个插孔旁设有标签。
8.如权利要求3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的扫描电镜样品台包括一个外筒和两个以上的插孔大小、分布均不相同的插孔台。
9.如权利要求1或2所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述的外筒的外壁呈圆柱形，所述的扫描电镜样品台还包括样品座，样品座上设有用于容纳外筒的凹腔；所述凹腔呈圆柱形，与外筒的外壁相适应；外筒可拆卸的固定在样品座的凹腔中；所述凹腔的底部为平面，其对应于外筒轴心处设有与外筒相通的通孔；所述样品座的外壁设有至少一对互相平行的平面。
10.一种扫描电镜，包括扫描电镜样品台，其特征在于，所述的扫描电镜样品台包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台，所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔，所述的插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。
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