[发明专利]一种扫描电镜样品台及扫描电镜

说明书

技术领域

本发明涉及微型钻头检测技术领域，更具体的说，涉及一种微型刀具用扫描电镜样品台及扫描电镜。

背景技术

扫描电镜是一种电子光学显像仪器，采用极细的电子束在样品表面扫描，高能电子射束与物质之交互作用，产生了各种讯号，这些讯号，经由适当之检测器(Detector)接收后，经放大器(Amplifier)放大，然后送到显像管(Braun Tube)上成像。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。

现有的扫描电镜的扫描电镜样品台，通常都是呈平台或平面状，待检测的样品放置在扫描电镜样品台上导电后进行观测。现有技术中的扫描电镜样品台通常都是用来检测微粒状物体，适用于PCB微型钻头、微型铣刀等微型刀具的扫描电镜样品台很少。由于扫描电镜样品台的空间有限，在对微型刀具进行扫描电镜检测时，须将待观察部分敲断放入扫描电镜样品台中；而为了观察微型刀具尖部的结构，还需要使用碳胶带将微型刀具竖直固定，不仅固定操作复杂，而且也很难保证微型刀具足够的竖直度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种适用于检测微型刀具的扫描电镜样品台及使用了此扫描电镜样品台的扫描电镜。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种扫描电镜样品台，其中，包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台，所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔，所述的插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。

所述的插孔为贯穿插孔台的通孔。这样的设计使插孔的加工更为简便，且微型刀具的柄部可以贯穿整个插孔台，到达外筒内的底部。当然，插孔台的插孔也可以设计成非贯穿的插孔。

所述的插孔台上规则分布有两个以上具有不同内径大小的插孔。这样的设计可以支持对不同柄径的微型刀具的检测，还可以一次检测多个微型刀具，尤其适用于对比检测。一次性的对磨损或崩缺的微型刀具和正常刀具进行同时的对比检测，可以更方便地对比被测样品的性能，以致得到一组完整有效的试验数据。

插孔台上的插孔的内径小于微型刀具柄部上套环的直径。这样的设计使得微型刀具可以连带套在其刀具柄部上的套环一同进行扫描电镜的检测。不仅在检测时不需取下套环，操作更为方便，还可以通过套环在微型刀具刀柄上的位置来调节微型刀具露出插孔台的高度；不同的套环，也可以辅助用来对不同的微型钻头进行标识区别。

所述的外筒的内壁呈圆柱形，内壁设有螺纹，对应的，所述与外筒连接的插孔台的外壁也设有与外筒相配合的螺纹；所述的插孔台的圆形表面上设有凹槽，所述的凹槽设置在外筒的轴心处。这样的设计，使得可以使用类似于起子等工具，更方便地使插孔台在外筒内旋转，以辅助调节插孔台在外筒内的高度，使得检测更为方便。

所述的扫描电镜样品台还包括圆饼状的托台，所述的托台设置在插孔台的下方，托台与外筒连接的外壁也设有与外筒相配合的螺纹。这样的设计，使得微型刀具在插入到插孔台的插孔中后，底部由托台托住，通过托台的位置调节，即使微型刀具不带套环，也可以调节微型刀具的高度位置。

所述的插孔台上在每个插孔旁设有标签。设置标签是用于标识每个插孔，以便对待检测的微型刀具进行标识区别。所述的标签可以为激光打字标签，或为另行设置的标签笺等。

所述的扫描电镜样品台包括一个外筒和两个以上的插孔大小、分布均不相同的插孔台。这样的设置使得每个外筒可以配备多个插孔规格不同的插孔台，以适应不同要求、不同型号的微型刀具的检测。在对微型刀具进行检测时，根据微型刀具的柄部外径的不同，及需要的插孔的分布状态的不同，选用相应的插孔台。

所述的外筒的外壁呈圆柱形，所述的扫描电镜样品台还包括样品座，样品座上设有用于容纳外筒的凹腔；所述凹腔呈圆柱形，与外筒的外壁相适应；外筒可拆卸的固定在样品座的凹腔中；所述凹腔的底部为平面，其对应于外筒轴心处设有与外筒相通的通孔；所述样品座的外壁设有至少一对互相平行的平面。

一种扫描电镜，包括扫描电镜样品台，其中，所述的扫描电镜样品台包括外筒及设置在外筒内与外筒连接的插孔台，所述插孔台上设有用于插放微型刀具的插孔，所述的插孔的内径与微型刀具的柄部的外径相适应。

本发明中所述的扫描电镜中使用的扫描电镜样品台包括有外筒及设置在外筒内的插孔台，由于具有一定高度的外筒及插孔台上插孔的设置，使微型刀具可以直接竖直地插放在插孔内进行扫描电镜的检测，不仅操作更为方便，而且还可以在不破坏微型刀具的情况下观察微型刀具的磨损、崩口等情况，非常适合检测微型刀具，检测效果较好。

附图说明