[发明专利]芯片尺寸封装件及其制法有效

专利信息
申请号: 201010248507.0 申请日: 2010-08-05
公开(公告)号: CN102376590A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 张江城;柯俊吉;黄建屏 申请(专利权)人: 矽品精密工业股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28;H01L23/485
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;张硕
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 芯片 尺寸 封装 及其 制法
【权利要求书】:

1.一种芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,包括:

提供多个具相对作用面及非作用面的芯片及一透明载具,该芯片作用面上设有多个焊垫;在该芯片作用面上覆盖有保护层;将该芯片通过其非作用面而固定于该透明载具上;

以第一包覆层包覆该芯片并外露出该芯片作用面上的保护层;

移除该保护层以外露出该芯片作用面;

在该芯片作用面及第一包覆层上设置介电层,并使该介电层形成开口以外露出该焊垫;以及

在该介电层上形成线路层,并使该线路层电性连接至该焊垫。

2.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:在该介电层及线路层上设置拒焊层,并使该拒焊层形成多个开口以植设焊球。

3.根据权利要求2所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:以激光使该透明载具自其与该第一包覆层及芯片的介面分离。

4.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:在设置该介电层之后,以激光使该透明载具自其与该第一包覆层及芯片的介面分离。

5.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:在形成该线路层的步骤后,以激光使该透明载具自其与该第一包覆层及芯片的介面分离。

6.根据权利要求4或5所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:在分离该透明载具后,在该介电层及线路层上设置拒焊层,并使该拒焊层形成多个开口以植设焊球。

7.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,该透明载具表面还设有第二包覆层,且该芯片通过其非作用面而固定于该第二包覆层上。

8.根据权利要求7所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,该第二包覆层是通过涂布方式形成。

9.根据权利要求7所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,该第二包覆层为聚酰亚胺材料。

10.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,该第一包覆层的高度大于该芯片的高度。

11.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,还包括:以重布线技术在该介电层及线路层上形成增层结构。

12.根据权利要求1所述的芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,该芯片及透明载具的制造工艺包括:提供一具多个芯片的晶圆,该晶圆及芯片具有相对的作用面及非作用面,以于该晶圆作用面上敷设保护层,接着进行晶圆切割,以形成多个作用面上设有保护层的芯片,以将各该芯片通过其非作用面而固定于该透明载具上。

13.一种芯片尺寸封装件,其特征在于,包括:

芯片,该芯片具有相对的作用面及非作用面,且在该芯片作用面设有多个焊垫;

第一包覆层,包覆于该芯片周围,且该第一包覆层的高度大于该芯片的高度;

介电层,设于该芯片作用面及第一包覆层上,且该介电层具多个开口以外露该焊垫;

线路层,设于该介电层上且电性连接至该焊垫;以及

第二包覆层,设于该芯片非作用面及第一包覆层上。

14.根据权利要求13所述的芯片尺寸封装件,其特征在于,还包括:

拒焊层,设于该介电层及线路层上,该拒焊层具有多个开口以外露出线路层预定部分;以及

焊球,设于该线路层预定部分上。

15.根据权利要求13所述的芯片尺寸封装件,其特征在于,还包括增层结构,形成于该介电层及线路层上。

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