[发明专利]工作台有效
申请号: | 201010249366.4 | 申请日: | 2010-08-02 |
公开(公告)号: | CN101916049A | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
发明(设计)人: | 李崇维;黄建森;温孟川 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工作台 | ||
1.一种工作台,其特征在于,包括:
一平台,具有相对的一承载面与一背面以及从该承载面贯穿至该背面的多个容置孔;
多个支撑件,分别设置于该些容置孔内,每一支撑件包括:
一壳体,具有一容置槽;
一滚动件,设置于该容置槽内,且该滚动件局部凸出至该容置槽外;以及
一气流导引单元,从该平台的该背面连接至该些容置孔。
2.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,每一支撑件还包括一套筒,该壳体设置于该套筒内。
3.根据权利要求2所述的工作台,其特征在于,该套筒的一底部设有一凸缘,每一容置孔包括相连通的一第一容置空间与一第二容置空间,该第一容置空间通至该承载面,该第二容置空间设置于该第一容置空间与该背面之间,该第一容置空间的内径小于该第二容置空间的内径,且该第一容置空间与该第二容置空间的连接处设有一挡壁,为提供该凸缘一限位高度。
4.根据权利要求3所述的工作台,其特征在于,每一支撑件还包括一密封环,环绕设置于该凸缘的外侧。
5.根据权利要求4所述的工作台,其特征在于,该凸缘设有一环形槽,该密封环固定于该环形槽内,且部分该密封环凸出于该环形槽外。
6.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,该些滚动件为万向滚珠或滚柱。
7.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,还包括多个连接垫,分别设置于该些容置孔内,且邻接该背面,该气流导引单元包括多个支管,分别连接至该些连接垫,每一连接垫具有一连接孔。
8.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,还包括一盖板,配置于该平台的该承载面,以遮盖该些容置孔。
9.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,还包括一基座,以承载该平台。
10.根据权利要求9所述的工作台,其特征在于,还包括一导热板,配置于该基座与该平台之间,其中该导热板内设有一液体流道单元。
11.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,该平台内更设有多个支撑销,且该些支撑销适于伸出该平台的该承载面外。
12.根据权利要求1所述的工作台,其特征在于,每一容置孔内设有一限位部,为提供对应的该壳体一限位高度。
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