[发明专利]工作台

说明书

技术领域

本发明涉及一种工作台，且尤其涉及一种用气流来驱动支撑件的工作台。

背景技术

图1是现有一种曝光设备的工作台的示意图。请参照图1，现有曝光设备的工作台100包括平台110及金属盖板120。平台110具有承载面112，而金属盖板120设置于平台110的承载面112上。

上述的金属盖板120用以承载待曝光的基板，且金属盖板120的厚度约数厘米。金属盖板120上设有保护涂层(图未示)，以防止基板因摩擦金属盖板120而受损。此外，金属盖板120的尺寸是配合基板的尺寸。换言之，当基板的尺寸更换时，金属盖板120也需更换。另外，当保护涂层磨损时，也需更换新的金属盖板120，以防止基板磨损。

在更换金属盖板120时，需施力(如推力F)于金属盖板120，以将金属盖板120推离平台110的承载面112。然而，由于金属盖板120是整面接触承载面112，所以金属盖板120与承载面112的接触面积较大，导致金属盖板120与承载面112之间的摩擦力较大。而且，因金属盖板120的厚度较薄，导致施力不易。因此，现有曝光设备的工作台100具有金属盖板120不易更换的缺点。此外，由于金属盖板120不易更换，所以在更换金属盖板120时容易造成金属盖板120与平台110彼此刮伤，且金属盖板120也容易因施力不当而变形。

发明内容

本发明提供一种工作台，以使工作台上的板材较容易移动。

为达上述优点，本发明提出一种工作台，其包括平台、多个支撑件及气流导引单元。平台具有相对的承载面与背面以及从承载面贯穿至背面的多个容置孔。支撑件分别设置于容置孔内，而气流导引单元从平台的背面连接至容置孔。此外，每一支撑件包括壳体及滚动件，其中壳体具有容置槽，而滚动件设置于容置槽内，且滚动件局部凸出至容置槽外。

在本发明的一实施例中，上述的每一支撑件更包括套筒，而壳体设置于套筒内。

在本发明的一实施例中，上述的套筒的底部设有凸缘，每一容置孔包括相连通的第一容置空间与第二容置空间，第一容置空间通至承载面，而第二容置空间设置于第一容置空间与背面之间。第一容置空间的内径小于第二容置空间的内径，且第一容置空间与第二容置空间的连接处设有挡壁。此挡壁为提供凸缘一限位高度。

在本发明的一实施例中，上述的每一支撑件更包括密封环，环绕设置于凸缘的外侧。

在本发明的一实施例中，上述的凸缘设有环形槽，而密封环固定于环形槽内，且部分密封环凸出于环形槽外。

在本发明的一实施例中，上述的滚动件为万向滚珠或滚柱。

在本发明的一实施例中，上述的工作台更包括多个连接垫，分别设置于容置孔内，且邻接背面。气流导引单元包括多个支管，分别连接至连接垫。而且，每一连接垫具有一连接孔。

在本发明之一实施例中，上述之工作台更包括盖板，配置于平台之承载面，以遮盖容置孔。

在本发明的一实施例中，上述的工作台更包括基座，以承载平台。

在本发明的一实施例中，上述的工作台更包括导热板，配置于基座与平台之间，其中导热板内设有液体流道单元。

在本发明的一实施例中，上述的平台内更设有多个支撑销，且支撑销适于伸出平台的承载面外。

在本发明的一实施例中，上述的每一容置孔内设有限位部，提供对应的壳体一限位高度。

本发明的工作台在更换承载面上的板材时，因可通过气流推动支撑件，使支撑件的滚动件局部凸出于承载面以支撑板材，因此，能有效减少推动板材时的摩擦力，进而使板材容易移动或更换。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1是现有一种曝光设备的工作台的示意图；

图2是本发明一实施例的一种工作台的示意图；

图3是图2的支撑件及连接垫的立体分解图；

图4A是图2的工作台用于承载板材时的示意图；

图4B是施力推动图2的工作台上的板材的示意图；

图5是本发明另一实施例的滚动件的示意图；

图6是本发明另一实施例的工作台的示意图；

图7是本发明另一实施例的工作台的示意图；

图8是图7的支撑件的立体分解图；

图9是本发明另一实施例的工作台的示意图；

图10是本发明另一实施例的工作台的示意图。

其中，附图标记：

100：工作台

110：平台

112：承载面

120：金属盖板