[发明专利]探针单元及使用该探针单元的测试装置

权利要求书

1.一种探针单元，其中，

该探针单元包括：探针基座，其为板状；支承台，其配置在该探针基座上；探针装置，其被支承在该支承台上，且具有多个具有前端针尖和后端针尖的探针；电连接件，其自该探针装置向后方延伸，且具有多条沿前后方向延伸的布线，各布线的前端部与上述后端针尖相连接；

上述支承台具有向前方、后方以及下方敞开的空间；

上述电连接件的后部侧的区域被引导向上述探针基座的上侧、并经过上述支承台的上述空间而延伸。

2.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

利用主体部和腿部将上述支承台的正面形状形成为门形，上述主体部为沿左右方向延伸的板状、且上述探针装置安装在该主体部上，上述腿部自主体部的左右方向各端部向下方延伸。

3.根据权利要求2所述的探针单元，其中，

上述腿部中的一个腿自上述主体部的前端向左右方向中的一侧突出，上述腿部中的另一个腿自上述主体部后端向左右方向中的另一侧突出，由此将上述支承台的平面形状形成为曲柄状。

4.根据权利要求2所述的探针单元，其中，

利用螺栓构件将上述支承台安装在上述探针基座上，该螺栓构件沿上下方向贯穿上述探针基座和上述腿部中的任意一个而与上述探针基座和上述腿部中的另一个螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

该探针单元包括多个上述支承台、和多个被分别支承在该支承台上的上述探针装置。

6.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

该探针单元具有多个被支承在共用的上述支承台上的上述探针装置。

7.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

该探针单元还包括中继基板，该中继基板配置在上述探针基座的上侧、且与上述电连接件的布线的后端部电连接。

8.根据权利要求7所述的探针单元，其中，

利用连接器使上述电连接件的后端部与上述中继基板电连接。

9.根据权利要求7所述的探针单元，其中，

上述中继基板在向后上方倾斜地延伸的状态下配置在上述探针基座的上侧，利用连接器以及与该连接器相连接的线缆使上述电连接件的后端部与上述中继基板电连接。

10.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

上述探针装置包括：探针装配体，其在探针保持体的下侧配置有上述多个探针；第1支承装置，其用于支承该探针装配体；第2支承装置，其用于支承该第1支承装置、且该第2支承装置安装在上述支承台上；

上述电连接件自上述探针装配体的后端部向后延伸。

11.根据权利要求10所述的探针单元，其中，

上述电连接件经过上述第1支承装置的下部而向后延伸，且自上述探针基座的前端部被引导向上述探针基座的上侧。

12.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

上述电连接件包括：第1布线区域，其具有多条沿前后方向延伸的第1布线、且使各第1布线的前端部与上述探针的后端针尖相连接；第2布线区域，其具有多条沿前后方向延伸的第2布线、且使各第2布线的前端部与上述第1布线的后端部相连接，且在上述第2布线区域处，上述电连接件被引导向上述探针基座的上侧并经过上述支承台的上述空间。

13.根据权利要求12所述的探针单元，其中，

上述第1支承装置包括：支承块，其被支承在上述第2支承装置上；结合块，其安装在该支承块上，上述探针装配体组装在该结合块的前部下侧且上述第1布线区域配置在该结合块的下侧；连接块，其配置在上述支承块的后部下侧与上述结合块的后部上侧之间、且该连接块安装在上述支承块上，上述第2布线区域的前端部配置在该连接块的下侧；

上述第1布线区域的后端部在上述结合块的后端处自该结合块的下侧翻折到上侧，从而使该第1布线区域的各布线与上述第2布线区域的布线相连接。

14.根据权利要求1所述的探针单元，其中，

上述电连接件具有薄片状的布线连接用具。

15.一种测试装置，其中，

该测试装置包括：基座；工作台，其被支承在该基座上、且该工作台具有用于承载平板状被检查体的承载部；探针单元，其为权利要求1所述的探针单元、且探针单元配置在上述基座上；单元支承机构，其将该探针单元支承在上述基座上；

该单元支承机构包括：第1移动体，其能在与上述被检查体平行的XY面内沿前后方向移动地被上述基座承载、且该第1移动体在上述XY面内沿左右方向延伸；第2移动体，其能沿倾斜的上下方向移动地与上述第1移动体结合、且该第2移动体沿左右方向延伸；止挡件，其限定上述第2移动体的最大前进位置；探针移位机构，其用于使上述第1移动体相对于被检查体进退，以使上述第2移动体沿前后方向移动并沿上下方向移位；

上述探针单元被支承在上述第2移动体上。