[发明专利]探针单元及使用该探针单元的测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于对液晶显示面板那样的平板状被检查体进行通电测试的探针单元及使用该探针单元的测试装置。

背景技术

通常，使用具有探针单元的检查装置即测试装置对液晶显示面板那样的平板状被检查体进行检查、即测试。作为上述探针单元的1种，有专利文献1、2所述的装置。

专利文献1所记载的探针单元包括安装在测试装置的主体框架上的板状的探针基座、和在前后方向上隔开间隔地配置在该探针基座上的多个探针装置。

各探针装置包括安装在探针基座上的连结块(滑动基座)、以能调整高度位置的方式悬挂在连结块上的支承块、安装在支承块上且将多个探针配置在探针保持体下侧的探针装配体(探针块)、和自探针装配体的后端部向后方延伸的薄片状的电连接件。

在上述的以往技术中，使用TAB(Tape Automated bonding、卷带自动结合)、TCP(Tape Carrier Package，带载封装)、FPC(Flexible Printed Circuit、挠性印刷布线基板)等薄片状的布线连接用具作为电连接件。

连结块以及支承块形成用于支承探针装配体的支承装置。另外，电连接件具有沿前后方向延伸的多条布线。此外，各布线的前端部与上述探针的后端针尖相连接。

电连接件在探针基座的下侧延伸，且电连接件的后端部与中继基板电连接。中继基板借助中继布线与产生用于对被实验体进行测试的测试信号的电路电连接。

但是，若电连接件在探针基座的下侧延伸，则如专利文献2所述必须将中继基板设置在探针基座的下侧，且必须使自该中继基板向后方延伸的中继布线位于探针基座的下侧而向探针基座的后方延伸。

在上述那样的探针单元中，当更换或检修电连接件、中继基板、中继布线等故障零件或检修零件时，必须在使探针基座自主体框架离开后进行更换作业或维修管理作业，不仅使故障零件或检修零件的更换作业或检修作业变得比较麻烦，而且中继布线的处理也比较麻烦。

另外，在将能使探针装配体相对于被检查体上下移动或进退的机构那样的驱动机构配置在探针基座的下侧的测试装置中，必须使电连接件、中继基板以及中继布线在驱动机构的下侧通过，以避免它们妨碍上述驱动机构的动作，从而使驱动机构、电连接件、中继基板、中继布线等的处理比较麻烦，而且使上述各构件的维修管理作业复杂化。

作为用于解决上述问题的方法之一，可以在探针基板上沿左右方向隔开间隔地设置多个沿上下方向贯穿探针基座的布线通孔，从而使各探针装置的电连接件或中继布线在该通孔中自探针基座的下方通向上方。

但是，在上述那样地设置时，探针基座的设有布线通孔处的机械强度下降，因此必须在探针基座上设置多个用于补偿上述机械强度下降的加强构件，从而使探针基座的构造复杂化，由此使探针单元的制造成本增加。

专利文献1：日本特开2004-191064号公报

专利文献2：日本特开2009-115585号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种不用在探针基座上设置布线通孔就能使电连接件通向探针基座上侧的构造。

本发明的探针单元包括：探针基座，其为板状；支承台，其配置在该探针基座上；探针装置，其被支承在该支承台上、且具有多个具有前端针尖和后端针尖的探针；电连接件，其自该探针装置向后方延伸、且具有多条沿前后方向延伸的布线，各布线的前端部与上述后端针尖相连接。上述支承台具有向前方、后方以及下方敞开的空间。上述电连接件的后部侧的区域被引导向上述探针基座的上侧、并经过上述支承台的上述空间而延伸。

可以利用主体部和腿部将上述支承台的正面形状形成为门形，上述主体部为沿左右方向延伸的板状、且上述探针装置安装在该主体部上，上述腿部自主体部的左右方向各端部向下方延伸。

上述腿部中的一个腿可以自上述主体部的前端向左右方向中的一侧突出，上述腿部中的另一个腿可以自上述主体部后端向左右方向中的另一侧突出，由此将上述支承台的平面形状形成为曲柄状。

可以利用螺栓构件将上述支承台安装在上述探针基座上，该螺栓构件沿上下方向贯穿上述探针基座和上述腿部中的任意一个而与上述探针基座和上述腿部中的另一个螺纹连接。

本发明的探针单元可以包括多个上述支承台、和多个被分别支承在该支承台上的上述探针装置。也可以代替该种探针装置地具有多个被支承在共用的上述支承台上的上述探针装置。

此外，本发明的探针单元还包括中继基板，该中继基板配置在上述探针基座的上侧、且与上述电连接件的布线的后端部电连接。可以利用连接器使上述电连接件的后端部与上述中继基板电连接。