[发明专利]具有传感器的掩膜版盒

权利要求书

1.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括：

一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件；

一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且配置至少一贯穿该外表面及该第二内表面的贯穿孔，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；

一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；

一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及

至少一传感器，配置于该贯穿孔内，每一该传感器具有一感测端，且该感测端位于该上盖板的第二内表面上。

2.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括：

一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件；

一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且该上盖板的外表面向该下盖板的第一内表面方向形成一凹槽部，且配置至少一贯穿该外表面及该第二内表面的贯穿孔于该凹槽部上，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；

一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个第一固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；

一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及

至少一传感器，配置于该上盖板的该凹槽部的该贯穿孔内，每一该传感器具有一感测端，且该感测端位于该上盖板的第二内表面上。

3.一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括：

一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件；

一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且该上盖板的外表面向该下盖板的第一内表面方向形成一凹槽部，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；

一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个第一固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；

一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及

至少一传感器，配置于该上盖板的该凹槽部的第二内表面上。

4.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，该传感器为一种压力传感器。

5.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一温湿度测量装置，并设置于该第一容置空间内。

6.如权利要求4所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一数据显示器，且电性连接于该压力传感器。

7.如权利要求5所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一数据显示器，且电性连接于该温湿度测量装置。

8.如权利要求1或2所述的掩膜版盒，其特征在于，该传感器进一步具有调整端。

9.如权利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一凹槽部于该上盖板上。

10.如权利要求1所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一把手位于该上盖板之上。

11.如权利要求2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一把手位于该上盖板之上且该把手横跨于该凹槽部上。

12.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一对突缘位于该上盖板的该外表面上。

13.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置一发讯器，且电性连接于该传感器，其中该发讯器具有无线传输的装置。

14.如权利要求1、2或3所述的掩膜版盒，其特征在于，进一步配置至少一气阀于该下盖板，该气阀为一柱状体，从该下盖板的底部贯穿至相对于该底部的该第一内表面，且该气阀向上延伸至该子下盖板并贯穿于该子下盖板至该子第一内表面。