[发明专利]液体的处理方法无效

专利信息
申请号: 201010254710.9 申请日: 2010-08-11
公开(公告)号: CN101995778A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 藤田洋久;宫川昌士;高田健司;井上浩次 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李帆
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 液体 处理 方法
【权利要求书】:

1.液体的处理方法,包括:

通过使臭氧气体与含有水溶性羰基化合物和树脂的液体接触,使该液体中的树脂分解;和

通过使用离子交换树脂对进行该分解后的液体进行离子交换处理从而将该分解中将该树脂分解产生的有机酸从该液体除去,

其中要进行该离子交换处理的液体含有水。

2.根据权利要求1所述的处理方法,其中该水溶性羰基化合物是选自γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、醋酸乙二酯和甘油乙酸酯中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的处理方法,其中该离子交换树脂含有阴离子交换树脂。

4.根据权利要求1所述的处理方法,其中该水溶性羰基化合物是γ-丁内酯。

5.根据权利要求1所述的处理方法,其中在该除去中,首先对该液体进行使用阴离子交换树脂的离子交换处理,然后对该液体进行使用混合离子交换树脂的离子交换处理。

6.根据权利要求1所述的处理方法,其中在该分解中,该液体含有水。

7.根据权利要求1所述的处理方法,其中在该分解后,将水加入要进行离子交换处理的液体。

8.根据权利要求1所述的处理方法,其中在该分解中使臭氧气体与其接触的液体通过使用含有水溶性羰基化合物的液体作为溶剂并且将该树脂从设置有该树脂的基板除去而得到。

9.根据权利要求1所述的处理方法,其中在该分解中使臭氧气体与其接触的液体通过使用含有水溶性羰基化合物和水的液体作为溶剂并且将该树脂从设置有该树脂的基板除去而得到。

10.根据权利要求1所述的处理方法,其中使用通过该除去步骤得到的含有水溶性羰基化合物的液体将树脂从设置有该树脂的基板除去。

11.根据权利要求9所述的处理方法,其中该水溶性羰基化合物为γ-丁内酯,并且相对于该液体的质量,该液体以等于或大于10质量%且等于或小于32质量%的比例含有水。

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