[发明专利]复合旋转的高出力顶升装置及真空传输顶升设备

权利要求书

1.一种复合旋转的高出力顶升装置，其特征在于，该顶升装置用以配合一外套筒内的一导旋销，对一物件提供旋转及升降的复合作用力，该顶升装置包括：

一螺杆；

一伺服马达，该伺服马达的输出轴轴向连接于该螺杆，以带动该螺杆旋转；

一螺帽，螺合于该螺杆；

一轴套，该轴套一端轴接于一轴承，另一端连接于该螺帽；

一活动柱，该活动柱一端与该轴承轴接，该外套筒套设于该活动柱；及

一导旋槽，该导旋槽设于该活动柱侧表面，该导旋销经由该外套筒的一通孔插入该导旋槽中，该导旋槽导引该活动柱上升或下降的同时旋转一预定角度。

2.如权利要求1所述的复合旋转的高出力顶升装置，其特征在于，该螺杆为一球螺杆。

3.如权利要求1所述的复合旋转的高出力顶升装置，其特征在于，该导旋槽分成三段，该导旋槽的第一段及第三段平行该活动柱轴向设置，其第二段环绕该活动柱的侧表面设置，决定该活动柱的旋转角度，并连接于所述第一段及第三段之间。

4.如权利要求1所述的复合旋转的高出力顶升装置，其特征在于，该活动柱末端具有一蝴蝶扣，该活动柱旋转过程中，该活动柱以该蝴蝶扣与该物件相结合。

5.一种真空传输顶升设备，用以将工件从一缓冲腔体传送至一高真空腔体中进行镀膜制程，其特征在于，该真空传输顶升设备包括：

一托盘，该托盘用以承载该工件，该托盘底部并设有一预定开口；及

一顶升装置，该顶升装置带动该托盘上升，将该缓冲腔体及该高真空腔体隔绝，并在该缓冲腔体的真空度达到一预定值时，使该托盘下降，将该工件传送至该高真空腔体进行镀膜制程，该顶升装置包括：

一螺杆；

一伺服马达，该伺服马达的输出轴轴向连接于该螺杆，以带动该螺杆旋转；

一螺帽，螺合于该螺杆；

一轴套，该轴套一端轴接于一轴承，另一端连接于该螺帽；

一活动柱，该活动柱一端与该轴承轴接，另一端则设有一蝴蝶扣；

一导旋槽，设于该活动柱侧表面；

一外套筒，固定于该高真空腔体底部，并套于该活动柱；及

一导旋销，该导旋销经由该外套筒的一通孔插入该导旋槽中，当该伺服马达带动该螺杆旋转使该活动柱上升时，该蝴蝶扣伸入该托盘底部的该预定开口，该导旋销配合该导旋槽导引该活动柱旋转一预定角度后，该活动柱与该托盘即以该蝴蝶扣相结合，当该活动柱下降时，该活动柱反向旋转使该蝴蝶扣松开该托盘。

6.如权利要求5所述的真空传输顶升设备，其特征在于，该螺杆为一球螺杆。

7.如权利要求5所述的真空传输顶升设备，其特征在于，该导旋槽分成三段，该导旋槽的第一段及第三段平行该活动柱轴向设置，使该活动柱做垂直升降，该导旋槽的第二段环绕该活动柱的侧表面设置，并连接于所述第一段及第三段之间，使该活动柱在上升或下降过程中旋转该预定角度，使该蝴蝶扣扣紧或松开该托盘。

8.如权利要求5所述的真空传输顶升设备，其特征在于，该缓冲腔体和该高真空腔体之间具有一通道口，该高真空腔体内包括一镀膜设备，该真空传输顶升设备包括一转盘，该真空传输顶升设备以间歇式旋转的方式将工件由该通道口传送至该镀膜设备进行镀膜制程，并同时将完成镀膜制程的工件传送至该通道口，以将工件取出。

9.如权利要求8所述的真空传输顶升设备，其特征在于，该转盘上正对于该通道口及该镀膜设备的位置分别设有一凹槽，在每一凹槽中心具有一通孔，该托盘位于该凹槽中，该顶升装置通过该通孔将该托盘顶升至该缓冲腔体并密封该通道口。

10.如权利要求5所述的真空传输顶升设备，其特征在于，该外套筒内包括一X型环，当该顶升装置顶升该托盘于该缓冲腔体中时，用以防止该导旋槽形成一漏气途径，影响真空度。