[发明专利]复合旋转的高出力顶升装置及真空传输顶升设备

说明书

技术领域

本发明有关于一种顶升装置，特别是指一种应用于真空设备中，可提供大行程、高扭力及高推力的复合旋转的高出力顶升装置及真空传输顶升设备。

背景技术

公知的真空镀膜设备，通常会分成一高真空腔体及一缓冲腔体。工件会先送入缓冲腔体中，待缓冲腔体内真空度到达一定值时，再传送进入高真空腔体进行镀膜制程，就可减少因抽真空所花费的大量时间。

在真空设备中，为了承载及传输工件，可能会使用到顶升装置。目前市面上针对真空设备所设计的顶升装置如图1剖面示意图所示，公知的顶升装置1包括一本体10、一凸轮轨11、一圆柱形凸轮12及一顶升柱13。顶升柱13一端连接于圆柱型凸轮12，另一端则用来顶升托盘14。由图中可看出，公知顶升装置1的动作原理是藉由圆柱型凸轮12在凸轮轨11中滑动产生垂直高度的变化，来使顶升柱13产生升降。

然而，若要利用此种顶升装置1具有下列缺点：首先是顶升的行程会受到顶升装置1本身体积的限制。也就是说，需要加大顶升的行程时，势必也要加大顶升装置1的体积，来延伸凸轮轨11的长度，才能提供更大的行程。

第二是所能提供的顶升推力不足。在真空设备中，为了使承载传输设备能够一次运送大量的工件，需要较大的托盘。然而，在缓冲腔体破真空之后，由于缓冲腔体和高真空腔体之间有一大气压的压力差，托盘的面积越大，缓冲腔体的大气压力对托盘作用力越大。再加上托盘本身的重量，致使顶升装置需要较大的推力才能顶住托盘及大气压力的重量。

除此之外，目前仍待开发可以在升降同时复合旋转动作的顶升装置以使用于真空设备中。因此，如何使顶升装置缩小体积后还能输出很大的推力，同时又能够复合旋转动作，提供产业上更多方面的应用，为现今工业上仍致力于发展的课题。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种复合旋转的高出力顶升装置及真空传输顶升设备，体积小不占空间，并提供大行程、高扭力及高推力。

本发明的技术解决方案是：

本发明的一种复合旋转的高出力顶升装置，其中，该顶升装置用以配合一外套筒内的一导旋销，对一物件提供旋转及升降的复合作用力，顶升装置包括：一螺杆；一伺服马达，伺服马达的输出轴轴向连接于螺杆，以带动螺杆旋转；一螺帽，螺合于螺杆；一轴套，轴套一端轴接于一轴承，另一端连接于螺帽；一活动柱，活动柱一端与轴承轴接，外套筒套设于活动柱；及一导旋槽，导旋槽设于活动柱侧表面，其中导旋销经由外套筒的一通孔插入导旋槽中，导旋槽提供导引活动柱上升或下降同时，旋转一预定角度。

本发明的一种真空传输顶升设备，其中，该顶升设备用以将多个工件从一缓冲腔体传送至一高真空腔体中进行镀膜制程。本发明真空传输顶升设备包括一托盘，托盘用以在缓冲腔体破真空后承载工件，托盘底部并设有一预定开口；及一顶升装置，顶升装置带动托盘上升，以托盘隔绝缓冲腔体及高真空腔体，并在缓冲腔体的真空度达到一预定值时，使托盘下降，将工件传送至高真空腔体进行镀膜制程，顶升装置包括：一螺杆；一伺服马达，伺服马达的输出轴轴向连接于螺杆，以带动螺杆旋转；一螺帽，螺合于螺杆；一轴套，轴套一端轴接于一轴承，另一端连接于螺帽；一活动柱，活动柱一端与轴承轴接，另一端则设有一蝴蝶扣；一导旋槽，设于活动柱侧表面；一外套筒，固定于高真空腔体底部，并套于活动柱；及一导旋销，导旋销经由外套筒的一通孔插入导旋槽中，当伺服马达带动螺杆旋转使活动柱上升时，蝴蝶扣伸入托盘底部的预定形状开口，导旋销配合导旋槽导引活动柱旋转一预定角度后，活动柱与托盘即以蝴蝶扣相结合。

由以上说明得知，本发明确实具有如下的优点：

相较于现有技术，本发明不仅有效缩小顶升装置的体积，又可提供较大的顶升行程及顶升推力。同时，在顶升过程中复合旋转的动作，具有更广的应用层面。

附图说明

图1为现有的顶升装置；

图2为本发明的复合旋转的顶升装置示意图；

图3A至图3C为本发明实施例的复合旋转顶升装置顶升流程图；

图4A至图4B为结合本发明的复合旋转顶升装置的真空传输顶升流程示意图；

图5A及图5B为本发明实施例托盘仰视示意图。

主要元件标号说明：

1：顶升装置         10：本体              11：凸轮轨

12：圆柱形凸轮      13：顶升柱            14：托盘

2：顶升装置         20：驱动组件          200：球螺杆