[发明专利]生产发光设备的方法有效

专利信息
申请号: 201010261067.2 申请日: 2006-03-24
公开(公告)号: CN101950734A 公开(公告)日: 2011-01-19
发明(设计)人: 前田强;松本友孝 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L51/56
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 生产 发光 设备 方法
【说明书】:

本申请是申请号为“200610068084.8”,申请日为2006年3月24日,发明名称为“发光装置”之申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及具备有机EL元件等发光元件的发光装置以及电子设备。

背景技术

作为移动电话机、个人计算机或PDA(Personal Digital Assistants)等电子设备所使用的显示装置,或作为数字复印机、打印机等的图像形成装置中的曝光用头,有机电致发光(EL/Electroluminescence)装置等发光装置受到关注。当将这种发光装置构成为用于彩色时,以往,被构成为通过在每个像素中改变构成发光层的材料,而从各像素射出各色的光。

另一方面,提出了如下的技术,即:在形成于发光层的下层侧的下层侧反射层、和形成于发光层的上层侧的上层侧反射层之间形成光谐振器,并且通过改变由ITO(Indium Tin Oxide)等构成的阳极的厚度来改变每个像素中光谐振器的光学长度,从各发光元件的出射光提取各色的光(例如参照专利文献1)。

[专利文献1]特许第2797883号公报

利用上述专利文献1中记载的技术,在构成从发光层看、向基板侧射出光的底部发射型的有机EL装置时,由半透过反射膜构成下层侧反射层。另外,在构成从发光层看、向基板的相反一侧射出光的顶部发射型的有机EL装置时,由铝或银等反射率高的金属膜构成下层侧反射层。

另外,为了通过ITO膜形成阳极,在形成ITO膜之后,采用光刻技术在ITO膜的上层形成抗蚀剂掩膜,进行蚀刻。为此,为了使阳极的厚度在红色用的像素、绿色用的像素以及蓝色用的像素中不同,需要反复3次上述工序。其结果,产生了如下问题,即由蚀刻ITO膜时所使用的蚀刻液或蚀刻气体而使下层侧反射层被蚀刻,从而使下层侧反射层的反射特性降低或下层侧反射层脱落。所述下层侧反射层的蚀刻不限于下层侧反射层从ITO暴露的蚀刻末期,在ITO上开有微小的孔的情况下,有可能从蚀刻刚刚开始便发生。

发明内容

鉴于上述的问题点,本发明的课题在于提供一种即使在形成因像素不同而厚度不同的阳极时、位于阳极下层侧的光谐振器用的下层侧反射层也不会劣化的发光装置以及具备该发光装置的电子设备。

为了解决上述课题,在本发明中是一种发光装置,其在与基板上的红色、绿色、蓝色对应的多个像素的每一个中具备发光元件,所述发光元件通过层叠光透过性的阳极层、至少包括发光层的功能层以及阴极层而构成,其特征在于,

在所述发光元件中形成所述阳极层的下层侧具备下层侧反射层额光谐振器,

所述多个像素中包括所述阳极层的厚度不同的像素,

在所述阳极层和所述下层侧反射层的层间,形成有用于覆盖该下层侧反射层的光透过性的绝缘保护层。

在本发明中,由于所述多个像素中包括所述阳极层的厚度不同的像素,所以在形成这样的阳极层时,虽然进行多次蚀刻工序,但在本发明中,由于在阳极层和下层侧反射层的层间形成有用于覆盖该下层侧反射层的光透过性的绝缘保护层,所以在形成下层侧反射层以后,即使进行几次用于形成阴极层的蚀刻工序,也不会使下层侧反射层因该蚀刻而劣化。

在本发明中,所述下层侧反射层具备全反射性,由所述发光层产生的光从该发光层看、向与所述基板的相反一侧射出。在这样的情况下,要求下层侧反射层具有高的反射率,但根据本发明,由于下层侧反射层不会因形成阳极层时的蚀刻而劣化,所以可以构成反射率高的下层侧反射层。

另外,在提高下层侧反射层的反射率时,可以通过铝、铝合金、银或银合金来形成所述下层侧反射层。这样的金属层容易因为ITO膜的蚀刻时所使用蚀刻液或蚀刻气体而劣化,但根据本发明,下层侧反射层不会因形成阳极层时的蚀刻而劣化。

在本发明中,通过以使每个像素中所述光谐振器的光学长度成为与红色光、绿色光、蓝色光的某一种对应的长度的方式来设定所述阳极层的厚度,从而规定所述像素的对应的颜色。在这种结构的发光装置中,虽然多个像素分别与红色、绿色、蓝色对应,但构成发光元件的有机功能层的材质不管所对应的颜色都是一样的,到底对应于哪种颜色是由阳极层的厚度来决定的。即,在本发明中,在各像素中构成光谐振器,根据阳极层的厚度,而将光谐振器的光学长度设定成与红色光、绿色光、蓝色光的任一种对应的长度。因此,像素不管对应于哪种颜色,各发光元件的寿命大致相等,所以可以延长发光装置整体的寿命。另外,在制造发光装置时,由于在像素之间使用同一材料,所以可以提高生产率。

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