[发明专利]反射式画素数组基板及其制作方法有效
申请号: | 201010261985.5 | 申请日: | 2010-08-25 |
公开(公告)号: | CN101963731A | 公开(公告)日: | 2011-02-02 |
发明(设计)人: | 黄凯泓;王丽雯 | 申请(专利权)人: | 福建华映显示科技有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1333;H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350015 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射 素数 组基板 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明是关于一种显示装置的制作方法及其结构,特别是关于一种反射式画素数组基板制作方法及其结构。
背景技术
液晶显示面板具有薄型且省电的特征,广为应用于个人计算机、行动电话与各式电子产品上,但是由于液晶显示器为非自发光的显示器,因此通常需要一个外加光源提供液晶面板足够的亮度,依光源的不同可分为穿透式液晶显示器、半穿透半反射式液晶显示器与反射式液晶显示器三种。
目前市面上多数的液晶显示器为穿透式,不过穿透式液晶显示器需要背光模块提供背光源,不但制造成本高,也难做得轻薄短小。相对来说,反射式液晶显示器因不需使用背光源,直接利用环境光源便可阅读,而且亮度高,即使在户外大太阳底下画面也十分淸晰,不需再加背光模块,因此具有省电、轻薄短小、适合长期户外使用等特性,并且可大幅降低液晶显示器的制造成本。
由于反射式液晶显示器所使用的光源来自外界的入射光,其强度较背光式液晶显示器所使用的光源为弱,致使反射式液晶显示器的显示效果,较背光式液晶显示器为差。因此,为解决在光源使用上所遇到的问题,其中一个方法,便是制造一个具有表面弧度的反射电极,以利于入射光源的反射光强度增加,提高外来光源的利用率,而提升显示器的显示质量。
然而,为制作具有表面弧度反射电极,使得反射式液晶显示器的TFT基板需要八道光罩制程,因而增加液晶显示器的生产成本。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种反射式画素数组基板的制作方法与结构,以解决习知技术所面临的问题。
本发明的技术特征在于:一种反射式画素数组基板的制作方法,包含首先提供一基板包含至少一画素区,且画素区包含一反射区和一组件区,接着形成一第一导电层于基板上,随后图案化第一导电层以形成一闸极线、一闸极电极和一共通线于组件区,并且形成复数个凸块于反射区,然后形成一第一絶缘层覆盖基板、闸极线、闸极电极、共通线和所有凸块,之后形成一半导体层于闸极电极上,再形成一第二导电层于第一絶缘层和半导体层上,接下来图案化第二导电层以形成一源极线、一源极电极、一汲极电极位于组件区以及一反射电极由组件区延伸至反射区,并且反射电极与各个凸块重迭,然后形成一第二絶缘层覆盖组件区以及反射区,最后图案化第二絶缘层于反射区形成复数个第一开口曝露出位于各个凸块正上方的反射电极。
本发明的另一技术特征在于:一种反射式画素数组基板,包含:一基板包含至少一画素区,且画素区包含一反射区和一组件区,一薄膜晶体管设于组件区,薄膜晶体管包含:一闸极电极设于基板上、一闸极絶缘层覆盖闸极电极并且延伸至反射区、一半导体层位于闸极絶缘层上并与闸极电极重迭、一源极电极位于半导体层和闸极絶缘层上以及一汲极电极位于半导体层和闸极絶缘层上,复数个凸块设于反射区的基板上并且闸极絶缘层覆盖所有凸块,其中各个凸块为浮置,前述画素数组基板另包含一反射电极位于闸极絶缘层上,且与汲极电极相连,并且反射电极由汲极电极延伸至反射区,其中反射区中的反射电极与各个凸块重迭使得反射电极的表面形成一凹凸结构以及一絶缘层覆盖反射区,并且絶缘层内具有复数个第一开口曝露出位于各个凸块正上方的反射电极。
本发明所述的反射式画素数组基板及其制作方法,可在一般液晶显示面板制程兼容,并且只需要五道光罩制程,可以简化制程、提高产能、并且减少生产成本。
附图说明
图1为本发明的基板及利用第一光罩图案化基板上导电层以形成闸极线和闸极电极的结构示意图。
图2为图1的G-G’线剖面结构示意图。
图3为图1的K-K’线剖面结构示意图。
图4为本发明第二光罩蚀刻后的结构示意图。
图5为图4的G-G’线剖面结构示意图。
图6为图4的K-K’线剖面结构示意图。
图7为本发明基板及利用第三光罩图案化基板上导电层以形成源极电极和汲极电极的结构示意图。
图8为图7的G-G’线剖面结构示意图。
图9为本发明第四、第五光罩蚀刻后的结构示意图。
图10为图10的G-G’线剖面结构示意图。
图11为图10的K-K’线剖面结构示意图。
具体实施方式
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