[发明专利]玻璃基板检查装置

权利要求书

1.一种玻璃基板检查装置，具有：放置玻璃基板的检查平台；对上述玻璃基板照射检查光，并接收检查光从玻璃基板的表面或者内部散射的散射光的光学部；具有使上述检查平台及上述光学部之中至少一方移动的驱动部的基台；以及设置上述基台的脚部，其特征在于，

上述基台及上述检查平台之中至少上述基台沿上述移动的方向分割成多个，上述脚部用刚体构成。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

上述脚部设在被分割的各个基台的角部。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

上述脚部具有：与地板面接触并能够调整高度的水平部；与基台连结的连结基座；设在水平部上的基座部；以及设在上述连结基座和上述基座部之间的块体。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

将上述基台进行N分割，将上述检查平台进行N-1分割，其中，N为整数。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，上述N分割之中作为一端侧的第N个基台是上述光学部的待机位置，上述被分割的检查平台之中第M个检查平台的移动方向的长度，比第M个基台的移动方向的长度短，其中，M为整数，且M≤N-1。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

上述N为3。

7.根据权利要求4所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

在上述被分割的各个部分具有调节检查平台的表面精度的检查平台表面精度调节机构。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

上述被分割的检查平台分别具有移动上述基台的平台基座、搭载上述玻璃基板的平台、以及连结上述平台基座和上述平台的连结部，上述检查平台表面精度调节机构是调节连结部的高度的机构。

9.根据权利要求4所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，

设有调节上述被分割的检查平台间的表面精度的机构。