[发明专利]玻璃基板检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于显示用面板等的制造的玻璃基板检查装置，尤其涉及适合检查玻璃基板的表面的伤痕和异物的玻璃基板检查装置。

背景技术

作为显示用面板而使用的液晶显示装置的TFT(Thin Film Transistor)基板或者滤色器基板、等离子显示器面板用基板、有机EL(Electroluminescence)显示面板用基板等的制造，利用光刻法技术在玻璃基板上形成图案而进行。此时，若在玻璃基板的表面或内部存在伤痕或异物等的缺陷，则图案不能良好地形成、成为不良的原因。由此，利用缺陷检查装置，进行玻璃基板的表面的伤痕或异物等的缺陷的检查。

现在，玻璃基板的大型化被推进，并且计划第十世代的玻璃基板(2850mm×3050mm)的生产。伴随这些的检查装置的大型化也成为必须。若检查装置大型化，则由于制作性或运输上的关系而需要将装置做成分割结构。

作为这种装置的分割结构，提出了用显示基板用曝光装置对基座支架进行三分割的方法(专利文献1)。

专利文献1：日本特开2007-65588号

若分割检查装置，则产生装置的刚性降低、分割单位的振动被合成、使变形或振动变大的问题。若变形或振动变大，则存在玻璃基板的检查精度降低的危险。

但是，在上述专利文献1公开的装置中，没有对这种问题进行考虑。

发明内容

本发明鉴于这种问题而做出，本发明的目的在于提供一种能够减少分割装置时的变形、振动，并且能够高精度地进行检查的玻璃基板的检查装置。

本发明为了达到上述目的，第一特征在于，玻璃基板检查装置具有：放置玻璃基板的检查平台；对上述玻璃基板照射检查光，并接收检查光由于玻璃基板的表面或者内部的异物而散射的散射光的光学部；具有使上述检查平台及上述光学部之中至少一方移动的驱动部的基台；以及设置上述基台的脚部，其特征在于，上述基台及上述检查平台之中至少上述基台沿上述移动的方向分割成多个，上述脚部用刚体构成。

另外，为了达到上述目的，在第一特征的基础上，第二特征在于，上述脚部设在被分割的各个基台的角部。

而且，为了达到上述目的，在第一或第二特征的基础上，第三特征在于，将上述基台分割成N(整数)个，将上述检查平台分割成N-1个。

另外，为了达到上述目的，在第三特征的基础上，第四特征在于，上述N分割之中作为一端侧的第N个基台是上述光学部的待机位置，被分割的上述检查平台之中第M(≤N-1，整数)个检查平台的移动方向的长度，比第M个基台的移动方向的长度短。

最后，为了达到上述目的，在第四特征的基础上，第五特征在于上述N为3。

本发明具有以下效果。

根据本发明，可以提供能够减少分割装置时的变形、振动，并且能够高精度地进行检查的玻璃基板的检查装置。

附图说明

图1是作为本发明的实施方式的玻璃基板检查装置的立体图。

图2是在图1中从箭头A-A的方向观察的作为本发明的实施方式的玻璃基板检查装置的侧视图。

图3是在图1中从箭头B的方向观察的作为本发明的实施方式的玻璃基板检查装置的另一个侧视图。

图4是表示基台支架的下支架的图。

图5是作为本发明的实施形态的玻璃基板检查装置的脚部的一个侧视图。

图6是在图5中从箭头C的方向观察的作为本发明的实施方式的玻璃基板检查装置的脚部的另一个侧视图。

图7是现有的玻璃基板装置的脚部的与图5对应的侧视图。

图中：

1-基台支架，2-检查平台，3-光学部，4-光学头，5、6、7-直线导轨，8-光学部X驱动部，9-平台基座，10-支柱，11-平台，12-检查平台驱动部，13-板，15、16、17-滑动件，18-光学部Y驱动部，20-脚部，21-水平垫片，22-基座，23-块体，24-连结基座，25-垫片，40-控制部，100-玻璃基板检查装置。

具体实施方式

将作为本发明的实施方式的玻璃基板检查装置100的全体结构表示在图1至图3中。图1表示作为本实施方式的玻璃基板检查装置的立体图，图2表示在图1中从箭头A-A的方向观察的作为本实施方式的玻璃基板检查装置的侧视图，图3是表示在图1中从箭头B的方向观察的作为本实施方式的玻璃基板检查装置的另一个侧视图。

作为本实施方式的玻璃基板检查装置100大致区分，则包括基台支架1、检查平台2、光学部3、脚部20(参照图2)以及控制这些部件的控制部40。