[发明专利]主动元件阵列基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种阵列基板及其制造方法，且尤其涉及一种主动元件阵列基板及其制造方法。

背景技术

随着显示科技的日益进步，人们借着显示器的辅助可使生活更加便利，为求显示器轻、薄的特性，促使平面显示器(flat panel display，FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，因此液晶显示器深受消费者欢迎。

一般而言，液晶显示面板主要是由主动元件阵列基板、对向基板以及夹于主动元件阵列基板与对向基板之间的液晶层所构成，其中主动元件阵列基板具有显示区(display region)与非显示区(non-display region)，显示区内配置有多个阵列排列的像素单元，而每一像素单元包括主动元件以及与主动元件连接的像素电极。此外，显示区内更配置有多条扫描线(scan line)与数据线(data line)，每一个像素单元的主动元件与对应的扫描线与数据线电性连接。

虽然目前技术已趋成熟，但主动元件阵列基板在制造过程之中难免会产生一些瑕疵(defect)。举例来说，主动元件阵列基板上的扫描线因其长度很长，故容易发生断路的情形，而导致一部分的像素单元无法动作，因此，必须对扫描线进行检测以判断是否有断线的问题发生。然而，在栅极采用双扫描线布局的设计下，因每一组双扫描线图案中的两条扫描线相互连接而形成回路，当其中一条扫描线发生断线时，测试信号依然可以通过回路中另一条扫描线传递。如此一来，无法有效地通过检测机台来判断回路设计的其中一条扫描线是否有断线的问题，使得检测机台对于主动元件阵列基板的瑕疵检测率极低，而导致产品可靠度受到冲击。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种主动元件阵列基板及其制造方法，可有助于检测断线缺陷以提高检测率。

本发明提出一种主动元件阵列基板的制造方法，其包括下列步骤。于基板上形成第一图案化导电层，第一图案化导电层包括多个彼此分离的扫描线图案，其中各扫描线图案包括第一扫描线以及邻近于第一扫描线的第二扫描线，第一扫描线具有第一接点以及第二接点，第二扫描线具有第一接点以及第二接点。对扫描线图案进行断线检测。形成多个通道层于基板上。形成第二图案化导电层于基板上，第二图案化导电层包括多条与第一扫描线及第二扫描线交错的数据线、多个位于通道层上方的源极以及漏极、多个连接线，其中源极对应地与数据线电性连接，连接线中的至少一个将每一扫描线图案中的第一扫描线及第二扫描线电性连接以构成一回路图案。形成多个与漏极电性连接的像素电极。

其中，于该基板上形成该第一图案化导电层的步骤中，该第一扫描线的第一接点不与该第二扫描线的第一接点连接，该第一扫描线的第二接点与该第二扫描线的第二接点连接。

其中，该断线检测通过一非接触式断线检测机台来进行，该非接触式断线检测机台包括一测试信号产生器以及一测试信号传感器，该测试信号产生器适于通过电流感应的方式分别使各该第一扫描线的第一接点产生一感测电流，该测试信号传感器适于在各该第二扫描线的第二接点上方分别感测流经各该第一扫描线的该感测电流。

其中，该非接触式断线检测机台沿着一检测方向移动以逐一对该些第一扫描线及该些第二扫描线进行非接触式断线检测。

其中，该断线检测通过一非接触式断线检测机台来进行，该非接触式断线检测机台包括一测试信号产生器以及一测试信号传感器，该测试信号产生器适于通过电流感应的方式分别使各该第一接点产生一感测电流，该测试信号传感器适于在各该第二接点上方分别感测流经各该第一扫描线及各该第二扫描线的该感测电流。

其中，该非接触式断线检测机台沿着一检测方向移动以逐一对该些第一扫描线及该些第二扫描线进行非接触式断线检测。

其中，该些通道层形成于该些扫描线图案上方或下方。

其中，更包括：在形成该第一图案化导电层之后以及形成第二图案化导电层之前，形成一绝缘层以覆盖该第一图案化导电层，其中该绝缘层具有多个接触窗，而各该连接线分别通过对应的接触窗使得该第一扫描线的第一接点与该第二扫描线的第一接点电性连接。

其中，对该些扫描线图案进行该断线检测的步骤包括：通过该第一接点对该些第一扫描线与该些第二扫描线进行一非接触式断线检测。

其中，该第一图案化导电层更包括至少一共通电极图案，该共通电极图案不与该扫描线图案连接。

其中，更包括对该共通电极图案进行另一断线检测。