[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，将涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：

载物台，在其上表面上装载所述基板；

喷嘴，在所述载物台上的空间，从其前端部喷出所述涂布液；

局部环境生成机构，其对涂布空间局部性地供给规定气体，在规定的环境下进行所述涂布液的涂布，该涂布空间包括所述喷嘴喷出涂布液的空间以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；

喷嘴移动机构，其在所述载物台上的空间，在横贯该载物台面的方向使所述喷嘴往复移动；

箱体，其包围着所述喷嘴移动机构而设置，并形成有所述喷嘴的至少一部分从该喷嘴移动机构侧向所述载物台侧突出而进行往复移动的开口部；

气体膜生成部件，其具有喷射规定的气体的喷射口，生成遮蔽所述箱体的开口部的带状的气体膜。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述气体膜生成部件设置在所述箱体的内部。

3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述气体膜生成部件设置在所述箱体的外部。

4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述开口部形成于构成所述箱体的壁面中竖立设置在上下方向上的一个壁面上，

所述气体膜生成部件并列设置于所述开口部的上部，生成气流从所述开口部的上部向下部方向流动的带状的气体膜。

5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述开口部形成于构成所述箱体的底面，

所述气体膜生成部件并列设置于所述开口部的横向部位，生成气流向着遮蔽所述开口部的水平方向流动的带状的气体膜。

6.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，还具有排气口，该排气口设置于所述箱体，将该箱体的内部空间内的气体排出到外部。

7.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述局部环境生成机构具有：

载物台侧箱体，其在所述箱体的下部包围着所述载物台而设置，并在其上表面形成有所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧突出而进行往复移动的开口部；

供给口，其设置于所述载物台侧箱体，向该载物台侧箱体的内部空间提供惰性气体；

排气口，其设置于所述箱体，将该箱体的内部空间内的气体向外部排出，

所述气体膜生成部件从所述喷射口喷射惰性气体，生成遮蔽所述箱体的开口部的带状的气体膜。

8.一种涂布装置，将涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：

载物台，在其上表面上装载所述基板；

喷嘴，在所述载物台上的空间，从其前端部喷出所述涂布液；

局部环境生成机构，其对涂布空间局部性地供给规定气体，在规定的环境下进行所述涂布液的涂布，该涂布空间包括所述喷嘴喷出涂布液的空间以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；

涂布机构，该涂布机构具有朝着下方排出涂布液的所述喷嘴；

所述局部环境生成机构还具有：

箱体，其在内部具有空间，将装载所述基板的载物台配置于该空间；

隔开构件，其配置于所述箱体内，为在内部形成空间的形状，并且在一端具有开口部；

第一气体供给部件，其对所述隔开构件的内部空间供给惰性气体；

所述涂布装置还具有载物台移动机构，该载物台移动机构相对所述喷嘴以及所述隔开构件能够相对地移动所述载物台，使得所述基板通过所述喷嘴之下，并且从所述开口部进入所述隔开构件的内部。

9.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布机构具有喷嘴移动机构，该喷嘴移动机构能够在与装载于所述载物台上的所述基板大致平行的方向并且与所述载物台的移动方向大致垂直的方向移动所述喷嘴，

在所述隔开构件的上表面，在所述喷嘴通过的位置，沿着该喷嘴的移动方向形成有孔，

所述载物台进行移动，使得通过所述开口部之后通过所述喷嘴之下。

10.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，在所述隔开构件的下表面，在所述载物台移动机构通过的部分形成有孔。

11.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述隔开构件将具有比所述基板的宽度大的宽度的遮蔽板作为其上表面以及下表面。

12.如权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述局部环境生成机构还具有第二气体供给部件，该第二气体供给部件从所述箱体的内壁对该箱体的内部空间提供惰性气体。