[发明专利]涂布装置

说明书

本申请是申请号为200710084320.X、申请日为2007年2月27日、发明名称为“涂布装置以及涂布方法”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种涂布装置以及涂布方法，尤其涉及一种从喷嘴向装载于载物台上的基板喷出有机EL材料等涂布液而进行涂布的涂布装置以及涂布方法。

背景技术

一直以来，都在对将涂布液涂布于基板等被处理物体的涂布装置进行各种开发。例如，在制造有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示装置的装置中，采用这样的涂布装置：在被装载于载物台上的玻璃基板等基板的主面通过喷嘴以规定的图案形状涂布空穴输送材料或有机EL材料。在该涂布装置中，从喷嘴以规定的压力喷出涂布液(有机EL材料或空穴输送材料)。具体而言，在涂布装置所具有的槽等供给源贮存涂布液，利用泵对从供给源所供给的涂布液进行增压，并用被设置于配管内的过滤器除去异物之后，从喷嘴被喷出。

一般地，众所周知，有机EL材料的品质会因氧化而恶化。因此，在向基板涂布有机EL材料时，必须防止该有机EL材料的氧化。例如，在JP特开2004-164873号公告(以下记为专利文献1)公开了为了防止这种有机EL材料的品质恶化而在管理氧气浓度的同时进行制造的技术。专利文献1所公开的制造装置，在腔室(chamber)内配列涂布装置、干燥装置、热固化装置、基板层压装置等，使该腔室内成为氮气环境来进行制造。

另外，例如在JP特开2001-237178号公报(以下记为专利文献2)开发了一种膜形成装置，该膜形成装置虽然和涂布有机EL材料或空穴输送材料的技术领域不同，但是从喷嘴喷出涂布液，并且连续地、一气呵成地在晶片上涂布涂布液。如上述专利文献2的图38所公开那样，该膜形成装置使支撑喷出喷嘴85的滑动91沿着导向轴98a以及98b进行往复移动。另外，驱动带92沿着和导向轴98a以及98b的并排设置方向相同的方向可转动地被架设在两个驱动带轮93以及驱动带轮94(参照上述专利文献2的图6)之间。并且，滑动91与驱动带92相连接，受到来自驱动带92的驱动力而沿着导向轴98a以及98b移动。通过这种结构，构成上述膜形成装置的移动装置86。另一方面，如上述专利文献2的图36所示，移动装置86以在被膜形成体、即晶片W上横向架设的方式而被设置。然后，从喷出喷嘴85向晶片W上喷出涂布液的同时，使滑动91进行往复移动，从而在晶片W上形成了膜。

但是，在上述专利文献1所公开的制造装置中，由于将多个装置设置在一个腔室内，所以腔室内的容积变大。也就是，为了使腔室内变为氮气环境，必须供给大量的氮气。另外，为了向上述腔室供给氮气来保持在所希望的氧气浓度，需要设置多个吸气/排气泵或闸门，装置本身变复杂。因此，存在制造成本和装置成本变大的问题。另外，在使大空间变为氮气环境时，存在因人进入该空间而产生窒息等危险要素，从而也产生出在安全方面的课题。

另外，在使被架设在带轮之间的驱动带的一侧的带轮被驱动的情况下，因带轮和驱动带的接触而成为发尘源。并且，在带轮附近产生的粉尘附着在驱动带上，伴随该驱动带的动作，被运送到支撑喷出喷嘴的滑动往复移动的空间，有可能会落到被装载于其下的被涂布体(例如，专利文献2中的晶片W)上。也就是，因带轮和驱动带的接触而产生的粉尘(颗粒)附着在被涂布体上，从而导致被涂布体的制造品质显著下降。

另一方面，考虑通过设置覆盖驱动带和带轮接触的附近的空间的罩，并具备从由该罩包围的密闭空间向外部排气的机构，将产生的粉尘排出到外部。但是，即使具有这种排气设备，也不能完全地防止产生的粉尘从上述密闭空间向滑动进行往复移动的空间流出。另外，考虑通过设置覆盖滑动进行往复移动的空间的罩，并具有从由该罩包围的密闭空间向外部排气的机构，将流到了该空间的粉尘排到外部。但是，在覆盖滑动进行往复移动的空间的罩至少必须形成喷出喷嘴能在罩外部进行往复移动那样的开口部(例如，以往复移动方向为长轴方向的狭缝状的开口部)。因此，由于流到滑动进行往复移动的空间的粉尘有可能经由开口部而落到被涂布体上，因而粉尘会附着在被涂布体上。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种防止涂布液的氧化并考虑了成本方面和安全方面的涂布装置以及涂布方法。另外，本发明的另一目的是提供一种防止异物落到作为被涂布体的基板上的涂布装置以及涂布方法。

为了实现上述目的，本发明具有如下所述特征。