[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，所述缺陷检查装置包括：

光源，其发射激光；

反射镜组，其将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；

干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；

摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及

分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述反射镜组使分割后的所述分量波面通过所述被测物体上的同一路线至少两次。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，所述反射镜组使分割后的所述分量波面通过所述被测物体上的同一路线至少四次。

4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述干涉仪具有第一表面和第二表面，并使用楔形板，把来自所述反射镜组的入射激光分割为由所述第一表面反射的激光和不由所述第一表面反射而由所述第二表面反射的激光。

5.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述被测物体是光学膜或基板。

6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，所述分析部使用预先确定的图像处理算法分析从所述干涉条纹的图像获得的干涉条纹图形，以便检测在所述被测物体的表面上存在的缺陷。

7.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其中，所述分析部使用傅立叶变换作为所述图像处理算法。

8.一种缺陷检查方法，所述缺陷检查方法包括如下步骤：

驱动光源发射激光；

驱动反射镜组，将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；

将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；

获得所产生的所述干涉条纹的图像；以及

根据所获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。