[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法

说明书

相关申请的交叉参考

本申请包含与2009年9月4日向日本专利局提交的日本在先专利申请JP 2009-204491的公开内容相关的主题，将该在先申请的全部内容以引用的方式并入本文。

技术领域

本发明涉及一种缺陷检查装置和该缺陷检查装置所使用的缺陷检查方法，该缺陷检查装置用于检测诸如光学膜等被测物体的缺陷。

背景技术

近几年，作为电视接收机和个人计算机(Personal Computer，PC)等显示装置，液晶显示装置非常受欢迎。该液晶显示装置使用多种光学膜之一用作偏光板的表面。上述光学膜的主要示例是三醋酸纤维素(Tri-acetyl cellulose，TAC)膜。通常，诸如TAC膜等光学膜是柔性的且容易被损坏。因此，如图13所示，通常在TAC膜15的表面上形成有硬涂层16，以改进其耐擦伤性。如图14A所示，硬涂层16在称作移动方向的方向上被铺设在作为原膜的TAC膜15的表面上。为了在TAC膜15的表面上铺设硬涂层16，使用诸如刀片110等涂敷部将硬涂敷材料连续地涂敷到TAC膜15的表面。当涂敷到TAC膜15表面的硬涂敷材料硬化时，则在TAC膜15的表面上形成了硬涂层16。

虽然硬涂敷材料被连续地涂敷到TAC膜15的表面上，但在图14B中的位置P处的标记X所示的一些情况下，诸如刀片110等涂敷部的一部分可能会阻塞。因此，如图14B所示，在TAC膜15表面上形成了具有沿刀片110的移动方向的线状的涂敷不均匀。结果，在涂敷到TAC膜15表面上的硬涂敷材料硬化后，在一些情况下，在铺设在TAC膜15表面上的硬涂层16上留下条带，该条带在TAC膜15表面上沿刀片110的移动方向具有固定长度并呈线状。如果此类TAC膜15用于偏光器件中，则使用该偏光器件的液晶显示装置的显示特性在一些情况下会受到恶劣的影响，因此期望对此进行改进。

另外，现有技术还提出了一种系统，该系统用于获取与微结构有关的信息或者与诸如面板、基板或晶片等物理主体表面结构有关的信息。上述系统使用剪切干涉仪，该剪切干涉仪将照射到被测物体上的光的波面分割为两个分波面(partial wave surface)，并使这两个分波面彼此干涉。对于与上述系统有关的更多信息，例如可参考日本专利公开文本2006-516737号(在下文中称为专利文件1)。

此外，现有技术还提出了一种检测用作被测物体的光学膜的缺陷的方法。根据上述方法，通常通过使用电荷耦合器件(Charge CoupledDevices，CCD)照相机来获得光学膜的图像，且通过检测色调变化或阴影变化来检测光学膜的缺陷。对于与上述方法有关的更多信息，例如可参考日本专利公开文本2006-208196号(在下文中称为专利文件2)。

但是，在上述专利文件1公开的系统中，很难在制造过程中检测在光学膜的宽度方向上的较宽范围内的缺陷的存在。此外，该系统根据被测物体表面所反射的光来检测该被测物体上缺陷的存在。专利文件1也没有说明对存在于具有较好光透射特性的光学膜上的缺陷的检测。具有较好光透射特性的光学膜的通常示例为上述TAC膜。

此外，根据上述专利文件2公开的缺陷检测方法，很难观察正在移动中的光学膜的较宽范围。

发明内容

基于上述问题，本申请揭示了一种用于检测被测物体的较宽范围内的缺陷的缺陷检查装置，还揭示了该缺陷检查装置使用的缺陷检测方法。

为解决上述问题，本发明的第一实施例提供了一种缺陷检测装置，其包括：光源，其发射激光；光源，其发射激光；反射镜组，其将所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝向一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉板，其将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉板产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。

为解决上述问题，本发明的第二实施例提供了一种缺陷检查方法，其包括如下步骤：驱动光源发射激光；驱动反射镜组，将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝向一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；获得所产生的所述干涉条纹的图像；以及根据所获得的所述干涉条纹的所述图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。