[发明专利]保持器、性能测试装置及性能测试方法

权利要求书

1.一种保持器，所述保持器用于通过检测器测量在光固化性树脂和按压构件之间产生的力，包括：

按压构件，所述按压构件具有光透射特性并且被按压在所述光固化性树脂上；和

光照射部件，所述光照射部件被安置在所述检测器和所述按压构件之间，并且在不接触光源和包括光纤的光传输线的状态下，将从外部光源发射的光照射到所述按压构件上。

2.根据权利要求1所述的保持器，其中所述光照射部件包括：其上可拆卸地安装所述按压构件的安装部，所述安装部被设置在所述光照射部件的下表面上。

3.根据权利要求2所述的保持器，其中所述安装部被构造成使得所述按压构件可根据伴随所述光固化性树脂的固化的收缩在预定的间隙内移动。

4.根据权利要求2所述的保持器，其中所述光照射部件包括：

光引入窗口，通过所述光引入窗口引入从所述外部光源发射的光；和

反射镜，所述反射镜使得通过所述光引入窗口引入的来自于所述外部光源的光穿过所述按压构件被导向所述光固化性树脂。

5.根据权利要求1至4中任何一项所述的保持器，其中所述按压构件具有树脂接触表面，所述树脂接触表面为球形表面。

6.一种测试装置，所述测试装置测量在光固化性树脂和按压构件之间产生的力，包括：

根据权利要求1至4中任何一项所述的保持器；

测量所述力的检测器；

基板保持机构，所述基板保持机构保持其上滴落所述光固化性树脂的基板；和

移动机构，所述移动机构使所述光固化性树脂和所述按压构件相对地移动。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其中当来自于所述外部光源的光穿过所述按压构件照射到所述光固化性树脂上时，所述检测器测量表示所述光固化性树脂的收缩力的力，所述力是在所述光固化性树脂和所述按压构件之间产生的。

8.根据权利要求6所述的测试装置，其中

在终止使来自于所述外部光源的光穿过所述按压构件照射到所述光固化性树脂上之后，所述移动机构使所述基板和所述按压构件以预定的恒定速率相对地移动，并且

所述检测器测量表示所述光固化性树脂的剥离力的力，所述力是在使所述基板和所述按压构件以所述预定的恒定速率移动的过程中在所述光固化性树脂和所述按压构件之间产生的。

9.根据权利要求6所述的测试装置，其还包括：

喷射惰性气体的气体供给构件，其中由所述基板、所述按压构件和所述气体供给构件包围的空间被所述惰性气体置换。

10.一种通过测量光固化性树脂和按压构件之间产生的力而测试所述光固化性树脂的性能的方法，所述方法包括：

将所述光固化性树脂滴落在基板上；

用具有光透射特性的按压构件按压滴落的光固化性树脂；

在不接触光源和包括光纤的光传输线的状态下，使从外部光源发射的光穿过所述按压构件照射到所述光固化性树脂上；和

检测在所述按压构件和所述光固化性树脂之间产生的力。

11.根据权利要求10所述的性能测试方法，其中在固定所述按压构件和所述基板之间的位置关系的情况下检测所产生的力。