[发明专利]保持器、性能测试装置及性能测试方法

说明书

通过引用的结合

以下优先权申请的公开内容通过引用结合在本文中：

2009年9月7日提交的日本专利申请：2009-206133。

技术领域

本发明涉及用于测试光固化性树脂的性能的测试装置、用于这样的测试装置的保持器和用于测试光固化性树脂的性能的方法。

背景技术

迄今，已经研究了以剥离力表示的光固化性树脂在释放时的性能。公开在“在刻印技术中模和光固化性树脂之间的粘附力的测量(Measurementof Adhesive force Between Mold and photocurable resin in ImprintTechnology)(Jpn.Appl.Phys.第41卷(2002)第4194-4197页)(以下，参考文献1)中的光固化性树脂性能的测量通过以下程序进行：

(a)通过滴落光固化性树脂的装置将光固化性树脂滴落在一个矩形玻璃基板(以下，“第一基板”)上，并将另一个矩形玻璃基板(以下，“第二基板”)的边缘放置在所述第一基板上，以使得所述第二基板垂直地粘合到第一基板。

(b)将用所述光固化性树脂粘合的一对玻璃基板转移到测试装置并置于其中，由此将所述第一基板的两端固定。

(c)使紫外光穿过所述玻璃基板照射到所述光固化性树脂上，以使该光固化性树脂固化。

(d)之后，在偏离所述第一基板的方向上将测试力施加在所述第二基板的两个边缘上，并测量该固化的光固化性树脂的剥离力。

公开在“在步进光感刻印中的定量释放(Quantifying release instep-and-flash imprint lithography)：J.Vac.Sci.Technol.B 24(6)，2006年十一月/十二月”(以下，参考文献2)中的性能测量方法通过使用如下所述的测试装置和夹具进行。此测试装置包括：保持光固化性树脂滴落在其表面上的模板的台；紫外光照射装置，所述紫外光照射装置使紫外光从台下面穿过所述模板照射到光固化性树脂；半球形的按压夹具(半球形的覆盖物(superstrate))，所述半球形的按压夹具接触滴落在所述台上的模板表面上的光固化性树脂；和通过测压元件将按压夹具上下移动的升降机。

公开在参考文献2中的性能测量方法的程序如下：

(a)在台上固定的模板(其为对应于压模(stamper)的元件)的表面上滴落光固化性树脂。

(b)通过升降机将半球形按压夹具向下移动，以使直径约2mm的由树脂制成的半球体与光固化性树脂接触，并使紫外光照射在其上。

(c)光固化性树脂固化后，通过升降装置将所述半球形按压夹具向上移动，以将所述半球体从所述模板移开。在此情况下，已经在所述模板和所述半球体之间固化的光固化性树脂从模板剥离，并随着所述半球体的移动而转印至所述半球体。

发明内容

当将矩形玻璃基板从滴落光固化性树脂的位置转移到测试装置时，在公开于参考文献1中的测试装置难以将矩形的玻璃基板置于其中而不使矩形玻璃基板倾斜。即，两个矩形玻璃基板的倾斜角和测试装置的负荷轴的倾斜角不可避免地具有误差，因此难以在垂直于2个矩形玻璃基板的方向上施加力。此外，当施加力以使得一个矩形基板与另一个矩形基板分开时，玻璃基板发生挠曲(deflection)。作为结果，产生关于测试的重复性和所得数据的可靠性的问题。

公开在参考文献2中的测试装置使用由具有低杨氏模量的树脂制成的半球体作为按压夹具。这不是如实际程序中的石英和树脂的组合。所述夹具的上下与在实际方法中夹具的上下相反。因此加到光固化性树脂中的释放剂(releaser)的表面离析(segregate)的效果没有反映到测量数据中。此外，半球体的半径为2mm，这与实际方法中使用的条件非常不同，因此将有关于数据准确性的问题。

根据本发明的第一方面，用于通过检测器测量在光固化性树脂和按压构件之间产生的力的保持器包括：按压构件，所述按压构件具有光透射特性并且被按压在所述光固化性树脂上；和光照射部件(block)，所述光照射部件被安置在所述检测器和所述按压构件之间，并且在不接触光源和包括光纤的光传输线的状态下，将从外部光源发射的光照射到所述按压构件上。

根据本发明的第二方面，优选的是第一方面所述的保持器中的光照射部件优选包括：其上可拆卸地安装所述按压构件的安装部(attachmentunit)，所述安装部被设置在所述光照射部件的下表面上。