[发明专利]测量电阻存储器器件的电阻的方法和执行该方法的系统无效
申请号: | 201010271538.8 | 申请日: | 2010-09-02 |
公开(公告)号: | CN102004197A | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 金荣国;朴美林;堀井秀树;徐东硕 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R27/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 钱大勇 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 电阻 存储器 器件 方法 执行 系统 | ||
1.一种测量电阻存储器器件中的存储器单元的电阻的方法,所述方法包含:
把数据写脉冲施加到所述电阻存储器器件的被选择的单元;
在自施加所述数据写脉冲的时刻起测量的一段延迟时间以后,把电阻读脉冲施加到所述被选择的单元;
测量响应于当把所述电阻读脉冲施加到所述被选择的单元时输出的脉冲波形在所述单元的下降电压;
使用所述下降电压和耦合到所述单元的测试设备的内阻测量通过所述单元的总电流;和
使用所述总电流和所述电阻读脉冲的电压确定所述电阻存储器器件的电阻。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述电阻存储器器件包含相变存储器器件、磁存储器器件或者铁电存储器器件。
3.如权利要求1所述的方法,其中,所述延迟时间被调整以确定在施加所述数据写脉冲的时刻以后不同时间的电阻。
4.如权利要求3所述的方法,还包含:
确定在所述数据写脉冲的终点和所述电阻读脉冲中的稳定时段之间的特定时间的电阻。
5.如权利要求4所述的方法,其中,所述特定时间是大约10纳秒到大约1秒。
6.如权利要求4所述的方法,其中,所述稳定时段包含所述电阻读脉冲中的大约半程点到大约终点。
7.如权利要求1所述的方法,其中,所述数据写脉冲和电阻读脉冲被从单个脉冲产生器的不同通道、两个不同的脉冲产生器或者单个脉冲产生器的单个通道施加。
8.如权利要求1所述的方法,其中,测量所述下降电压的步骤包含:
重复地把所述数据写脉冲和所述电阻读脉冲施加到所述单元;
平均响应于重复地把所述数据写脉冲和所述电阻读脉冲施加到所述单元从所述单元输出的相应脉冲波形以获取平均脉冲波形;
处理所述平均脉冲波形以提供具有降低的噪声的经过处理的平均脉冲波形;和
使用所述经过处理的平均脉冲波形测量所述下降电压。
9.如权利要求8所述的方法,其中,测量所述下降电压的步骤包含:
扫描按均匀时段平滑的平均脉冲波形;
测量所述时段中的初步下降电压;和
平均所述初步下降电压以获取所述下降电压。
10.一种用于测量电阻存储器器件中的存储器单元的电阻的系统,所述系统包含:
脉冲产生器,被配置成把数据写脉冲施加到所述电阻存储器器件和以一段延迟时间把电阻读脉冲施加到所述电阻存储器器件;
连接在所述脉冲产生器和所述电阻存储器器件之间的连接组件;
连接到输出脉冲波形的所述电阻存储器器件的测试测量设备;和
数据处理组件,被配置成使用所述脉冲波形和所述测试测量设备的内阻确定所述电阻存储器器件的所述电阻。
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