[发明专利]半导体器件分拣装置

权利要求书

1.一种半导体器件分拣装置，包括：

X-Y工件台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；

X-Y工作台驱动单元，用于移动所述X-Y工作台，以通过与第二传送工具互相配合工作从所述老化板收回第二器件，将第一器件插入所述老化板空的部分，并且当第一器件和第二器件已经完成在所述老化板上的交换时，将所述X-Y工作台移动至老化板交换位置；

板装载器，用于顺序装载具有插入其中的第二器件的老化板，以及具有插入其中的第一器件的老化板，从而将具有插入其中的第一器件的老化板传送至老化测试单元；以及

老化板交换缓冲单元，用于交换具有插入其中的所述X-Y工作台的第一器件的老化板和具有插入其中的所述板装载器的第二器件的老化板。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述X-Y工作台包括：

一对老化板装配单元，分别用于在上部位置和下部位置装配老化板；以及

老化板上下移动单元，用于在所述一对老化板装配单元之间沿向上和向下方向中的至少一个方向移动装配在所述一对老化板装配单元之一中的老化板，

其中，所述老化板交换缓冲单元包括一对老化板缓冲单元，分别用于将老化板装配在相应于所述X-Y工作台的所述老化板装配单元的上部位置和下部位置。

3.如权利要求1或2所述的装置，其中，将其上具有第二器件的所述老化板从所述板装载器收回，并经设置在所述老化板交换缓冲单元的上侧的所述老化板缓冲单元，传送至设置在所述X-Y工作台的上侧的所述老化板装配单元，并且

将其上具有第一器件的所述老化板从设置在所述X-Y工作台的下侧的所述老化板装配单元收回，并且经设置在所述老化板交换缓冲单元的下侧的所述老化板缓冲单元，传送至所述板装载器。

4.如权利要求1所述的装置，其中，通过所述老化板交换缓冲单元和所述板装载器之间的一个或更多个子指状物传送老化板，并且

配置所述子指状物，以在所述老化板交换缓冲单元和所述板装载器之间与其相应的多个移动子部分上移动老化板。

5.如权利要求1所述的装置，其中，所述板装载器包括：

一对机架装载单元，设置在所述X-Y工作台的Y-轴方向，用于以多个堆叠的形式在其上装载机架，所述机架在其上具有多个老化板；以及

升降机单元，安装在两个机架装载单元之间，用于从所述机架装载单元收回所述机架，并且在向上和向下方向移动所述机架。

6.如权利要求5所述的装置，其中，所述板装载器包括相应于所述两个机架装载单元的一对机架收回单元，用于收回装载在所述两个机架装载单元的每一个上的所述机架。

7.一种半导体器件分拣装置，包括：

装载单元，用于装载其上具有第一器件的托盘；

第二传送工具，用于从老化板收回第二器件；

第一传送工具，用于将装载在所述装载单元的所述托盘上的所述第一器件插入所述老化板空的部分；

卸载单元，用于通过在托盘上装载所述第二器件，由所述第二传送工具卸载从所述老化板收回的所述第二器件；

X-Y工作台，用于装载具有插入其中的第二器件的老化板；

X-Y工作台驱动单元，用于通过与所述第一和所述第二传送工具互相配合工作在X和Y方向移动所述X-Y工作台，并且用于当第一器件和第二器件已经完成在所述老化板上的交换时，将所述X-Y工作台移动至老化板交换位置；

板装载器，具有多个机架装载单元，用于装载其上具有多个老化板的机架；以及

老化板交换缓冲单元，安装在所述板装载器和所述X-Y工作台之间以在所述板装载器和所述X-Y工作台之间交换老化板，用于从装载在所述板装载器上的所述机架收回具有插入其中的第二器件的老化板，并且从所述X-Y工作台将具有被插入的第一器件的老化板插入装载在所述板装载器上的所述机架的空的部分。

8.如权利要求7所述的装置，还包括交换缓冲驱动单元，用于驱动所述老化板交换缓冲单元的垂直和水平移动，以使得所述老化板交换缓冲单元从装载在每一个所述机架装载单元上的所述机架收回老化板。