[发明专利]壳体及其制造方法有效
申请号: | 201010278449.6 | 申请日: | 2010-09-10 |
公开(公告)号: | CN102400092A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;张满喜 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 壳体 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种壳体及其制造方法,特别涉及一种铝合金壳体及其制造方法。
背景技术
铝合金目前被广泛应用于航空、航天、汽车及微电子等工业领域。但铝合金的标准电极电位很低,耐腐蚀差,暴露于自然环境中会引起表面快速腐蚀。
提高铝合金耐腐蚀性的方法通常是在其表面形成保护性的膜层。传统的阳极氧化、烤漆及电镀等铝合金的表面处理方法存在生产工艺复杂、效率低、环境污染严重等缺点。而真空镀膜(PVD)技术虽是一种非常环保的镀膜工艺,且可镀制的膜层种类丰富、耐磨性能优异,但PVD工艺沉积的膜层大多以柱状晶形态生长,因此膜层存在大量的晶间间隙,导致膜层致密性不够而对铝合金的耐腐蚀性能的提高有限。
发明内容
鉴于此,提供一种具有较好的耐腐蚀性的铝合金的壳体。
另外,还提供一种上述壳体的制造方法。
一种壳体,该壳体包括铝合金基体、依次形成于该铝合金基体上的铝层及AlNO层。
一种壳体的制造方法,其包括如下步骤:
提供铝合金基体;
以铝靶为靶材,于该铝合金基体的表面磁控溅射铝层;
以铝靶为靶材,以氮气和氧气为反应气体,于该铝层上磁控溅射形成含有AlN相、Al2O3相及Al(N,O)固溶相的AlNO层。
由于铝的电极电位与铝合金相当,所述铝层不易与铝合金基体发生电偶腐蚀;此外,所述铝层的形成还可避免铝合金基体发生第二相腐蚀,因此,所述铝层的形成可显著提高所述壳体的耐腐蚀性。
在所述AlNO层的形成过程中,Al不仅能与N、O形成Al(N,O)固溶相,还能分别与N、O形成AlN相、Al2O3相。AlN相、Al2O3相及Al(N,O)固溶相多相混合物同时生长,避免了在AlNO层中形成柱状晶结构,从而显著提高AlNO层的致密性。所述AlNO层致密性的显著提高,进一步增强了壳体的耐腐蚀性。
附图说明
图1是本发明较佳实施方式壳体的剖视示意图。主要元件符号说明
壳体 10
铝合金基体 11
铝层 13
AlNO层 15
具体实施方式
请参阅图1,本发明一较佳实施例的壳体10包括铝合金基体11、依次形成于该铝合金基体11上的铝层13及AlNO(氮氧化铝)层15。所述壳体10可为3C电子产品的壳体,也可为建筑用件及汽车等交通工具的零部件等。
所述铝层13及AlNO层15均通过磁控溅射镀膜法形成。所述铝层13的厚度为200~700nm。所述AlNO层15的厚度为0.2~2.0μm。
所述壳体10的制造方法主要包括如下步骤:
提供铝合金基体11,该铝合金基体11可以通过冲压成型得到,其具有待制得的壳体10的结构。
将所述铝合金基体11放入盛装有乙醇及/或丙酮溶液的超声波清洗器中进行震动清洗,以除去铝合金基体11表面的杂质和油污。清洗完毕后烘干备用。
再对铝合金基体11的表面进行氩气等离子清洗,进一步去除铝合金基体11表面的油污,以改善铝合金基体11表面与后续涂层的结合力。对铝合金基体11的表面进行氩气等离子清洗的方法包括如下步骤:将铝合金基体11放入真空镀膜机(图未示)的镀膜室内的工件架上,抽真空该镀膜室至8.0×10-3pa,以300~600sccm(标准状态毫升/分钟)的流量向镀膜室内通入纯度为99.999%的氩气(工作气体),于铝合金基体11上施加-300~-800V的偏压,对铝合金基体11表面进行等离子清洗,清洗时间为3~10min。
采用磁控溅射镀膜法在铝合金基体11表面依次形成铝层13及AlNO层15。形成该铝层13及AlNO层15的具体操作方法及工艺参数为:
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