[发明专利]一种控制工艺腔体内温度的系统

权利要求书

1.一种控制工艺腔体内温度的系统，其特征在于，包括电压调节装置、输入端通过开关与电压调节装置的输出端相连接的加热器、连接在所述开关与加热器之间的温度控制器，其中加热器安装在工艺腔体中：

电压调节装置，用于将输入电压调节为加热器的期望电压并输出；

加热器，用于在所述电压调节装置输出的期望电压下工作；

温度控制器，用于根据工艺腔体内的温度和设置的温度范围，控制所述开关接通或断开。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述温度控制器，具体用于：在所述工艺腔体内的温度低于所述温度范围时，控制所述开关接通；在所述工艺腔体内的温度高于所述温度范围时，控制所述开关断开。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

交流接触器，连接在所述电压调节装置输出端和所述开关之间，用于在加热系统过流、过热或缺相时，接通或断开电路。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，还包括：

过载保护开关，连接在所述电压调节装置的输出端与所述交流接触器的输入端之间，用于在所述加热系统的负载大于设定的负载阈值时，断开电路。

5.如权利要求1～4任一项所述的系统，其特征在于，还包括：

交流滤波器，连接在所述开关与所述加热器的输入端之间，用于滤除交流电中的干扰成份。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，还包括：

热电偶，连接在所述温度控制器的输入端与所述加热器之间，用于获取工艺腔体内的温度，并将获取的温度值反馈给所述温度控制器。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括：

超温报警器，连接在所述热电偶的输出端与交流接触器输入端之间，用于在所述热电偶反馈的温度值超过设定的温度阈值时，进行报警。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述开关包括：分别连接在所述交流接触器的输出端与所述交流滤波器的输入端之间的第一固态继电器和第二固态继电器；所述第一固态继电器与所述第二固态继电器并联连接。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述温度控制器，具体用于：

当所述工艺腔体内的温度低于所述温度范围时，则控制所述第一固态继电器和第二固态继电器分别处于释放状态；当所述工艺腔体内的温度高于所述温度范围时，则控制所述第一固态继电器和第二固态继电器分别处于吸合状态。

10.如权利要求1～4任一项所述的系统，其特征在于，所述电压调节装置为变压器或电力电子器件。

11.如权利要求10所述的系统，其特征在于，所述电压调节装置为变压器；

所述变压器的电压输入端设置有保险装置；或/和，所述变压器的电压输出端设置有保险装置。