[发明专利]形成薄膜图案的设备和方法

权利要求书

1.一种用于形成薄膜的设备，该设备包括：

印刷液提供单元，其用于提供印刷液；

底板，其具有凹入图案和突出图案以用于对所述印刷液进行构图；

印刷辊，该印刷辊上涂敷有从所述印刷液提供单元向该印刷辊提供的所述印刷液，并且该印刷辊在所述底板与基板上滚动；以及

溶剂提供单元，其用于在涂敷在所述印刷辊上的所述印刷液与所述底板发生接触之前向所述印刷液提供溶剂。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述溶剂提供单元包括：

存储有溶剂的液体容器；以及

用于向所述印刷液提供所述溶剂的至少一个溶剂提供辊。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述溶剂提供单元在将所述溶剂变成蒸汽状态之后向所述印刷液提供蒸汽状态的溶剂。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述溶剂提供单元在所述印刷液的粘度不在容许范围内时向所述印刷液提供所述溶剂。

5.一种用于形成薄膜图案的方法，该方法包括以下步骤：

在印刷辊上涂敷印刷液并使该印刷液干燥；

在使所述印刷辊在具有凹入图案和突出图案的底板上滚动之前，通过利用溶剂提供单元向涂敷在所述印刷辊上的所述印刷液提供溶剂；

通过使所述印刷辊在所述底板上滚动，来对所述印刷液进行构图；以及

将通过由此构图而形成的薄膜图案转印到基板。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，向所述印刷液提供溶剂的步骤包括以下步骤：

提供存储有所述溶剂的液体容器；以及

通过利用至少一个溶剂提供辊从所述液体容器向所述印刷液提供所述溶剂。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，向所述印刷液提供溶剂的步骤包括以下步骤：在将所述溶剂变成蒸汽状态之后向所述印刷液提供蒸汽状态的溶剂。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，在所述印刷液的粘度不在容许范围内时所述溶剂提供单元向所述印刷液提供高沸点溶剂。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述高沸点溶剂由丙二醇单甲醚乙酸酯PGMEA或碳酸丙烯酯PC形成。