[发明专利]形成薄膜图案的设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于形成薄膜图案的设备和方法，其能够不依从于时间地将印刷液的潮湿程度保持在适当的状态。

背景技术

本申请要求2009年12月30日提交的韩国专利申请No.10-2009-0134812的权益，此处以引证的方式并入其内容，就像在此进行了完整阐述一样。

近来，已经开发出各种类型的平板显示设备，这些平板显示设备减少了作为阴极射线管的缺点的重量和体积。在平板显示设备中，存在液晶显示设备、场发射显示设备、等离子体显示板、电致发光EL显示设备等。

平板显示设备设置有通过掩模工艺形成的多个薄膜，该掩模工艺包括沉积步骤、曝光步骤、显影步骤、蚀刻步骤等。但是，由于掩模工艺具有复杂的制造工序，因此掩模工艺增加了制造成本。因此，正在对利用印刷辊的印刷工艺来形成薄膜进行研究。

印刷工艺是这样一种工艺，其中将印刷液涂敷在印刷辊上的辊套(blanket)上，利用底板(cliché)将印刷图案形成在印刷辊上，并且将印刷图案转印到基板上，由此形成期望的薄膜。

涂敷在印刷辊上的印刷液的干燥程度和时间相关，使得形成在底板上的印刷液的形状随着干燥程度的不同而变化。即，形成在印刷辊上的印刷液的干燥程度随着底板上的位置而变化。如图1A所示，由于使底板30的一侧在初始阶段与印刷辊10发生接触，因此尽管将印刷辊10上的印刷液20恰当地转印到底板30上，但是如图1B所示，由于底板30的另一侧晚于底板30的所述一侧而与印刷辊10发生接触，降低了在印刷辊10上形成的印刷液的粘度，因此不能将印刷液20恰当地从印刷辊10转印到底板30上。不能将印刷液从印刷辊10恰当地转印到底板30导致当基板与印刷辊10发生接触时在基板上形成有缺陷的薄膜。据此，如图2所示，由于薄膜图案随着在基板1上的位置而变化，薄膜图案的均匀性变差。

发明内容

因此，本发明致力于用于形成薄膜图案的设备和方法。

本发明的目的是提供一种用于形成薄膜图案的设备和方法，其能够不依赖于时间地将印刷液的潮湿程度保持在适当状态。

本发明的附加优点、目的和特征将在下面的描述中部分描述且将对于本领域普通技术人员在研究下文后变得明显，或可以通过本发明的实践来了解。通过书面的说明书及其权利要求以及附图中特别指出的结构可以实现和获得本发明的目的和其它优点。

为了实现这些和其它优点，按照本发明的目的，作为具体和广义的描述，一种用于形成薄膜的设备包括：印刷液提供单元，其用于提供印刷液；底板，其具有凹入图案和突出图案以用于对所述印刷液进行构图；印刷辊，该印刷辊上涂敷有从所述印刷液提供单元向该印刷辊提供的所述印刷液，并且该印刷辊在所述底板与基板上滚动；以及溶剂提供单元，其用于在涂敷在所述印刷辊上的所述印刷液与所述底板发生接触之前向所述印刷液提供溶剂。

所述溶剂提供单元包括：存储有溶剂的液体容器；以及用于向所述印刷液提供所述溶剂的至少一个溶剂提供辊。

所述溶剂提供单元在将所述溶剂变成蒸汽状态之后向所述印刷液提供蒸汽状态的溶剂。

在本发明的另一个方面，一种用于形成薄膜图案的方法包括以下步骤：在印刷辊上涂敷印刷液并使该印刷液干燥；在使所述印刷辊在具有凹入图案和突出图案的底板上滚动之前，通过利用溶剂提供单元向涂敷在所述印刷辊上的所述印刷液提供溶剂；通过使所述印刷辊在所述底板上滚动，来对所述印刷液进行构图；以及将通过由此构图而形成的薄膜图案转印到基板。

向所述印刷液提供溶剂的步骤包括以下步骤：提供存储有所述溶剂的液体容器；以及通过利用至少一个溶剂提供辊从所述液体容器向所述印刷液提供所述溶剂。

向所述印刷液提供溶剂的步骤包括以下步骤：在将所述溶剂变成蒸汽状态之后向所述印刷液提供蒸汽状态的溶剂。

在所述印刷液的粘度不在容许范围内时所述溶剂提供单元向所述印刷液提供高沸点溶剂。

所述高沸点溶剂由PGMEA或PC形成。

应当理解，本发明的上述一般描述和下述详细描述是示例性和说明性的，且旨在提供所要求保护的本发明的进一步解释。

附图说明

附图被包括在本申请中以提供对本公开的进一步理解，并结合到本申请中且构成本申请的一部分，附图示出了本公开的实施方式，且与说明书一起用于解释本公开的原理。附图中：

图1A和图1B例示了示出将具有随时间而变化的干燥程度的印刷液转印到底板的截面图。

图2例示了用于说明在板的整个表面上出现的图案不均匀性来自于干燥程度随图1A和图1B中的位置而变化的平面图。