[发明专利]压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法

权利要求书

1.一种压电致动模块的制造方法，其是包括下列步骤：

(a)形成一上压电芯片及一下压电芯片，该上压电芯片及该下压电芯片的第一表面是分别具有一第一电极及一第二电极；

(b)通过一导电层将该第一电极及该第二电极相互接合，以使该上压电芯片与该下压电芯片对应组接；

(c)对该上压电芯片的一第二表面进行等间距切割；

(d)对该下压电芯片的一第二表面进行与该上压电芯片的该第二表面等间距切割错位的切割，以形成多个开口上下交错的流道，以形成一压电致动模块。

2.如权利要求1所述的压电致动模块的制造方法，其中该上压电芯片及该下压电芯片是由一锆钛酸铅压电材料所制成。

3.如权利要求1所述的压电致动模块的制造方法，其中于步骤(a)中，该第一电极及该第二电极是以金属掀除技术的方式分别蒸镀于该上压电芯片及该下压电芯片的该第一表面。

4.如权利要求3所述的压电致动模块的制造方法，其中该第一电极及该第二电极是由一金铬材料所制成。

5.如权利要求1所述的压电致动模块的制造方法，其中于步骤(b)中，是通过一网版印刷技术将该导电层及该第一电极及该第二电极相互接合，以使该上压电芯片与该下压电芯片对应接合。

6.如权利要求5所述的压电致动模块的制造方法，其中该导电层是为一导电胶。

7.如权利要求1所述的压电致动模块的制造方法，其中于步骤(c)及(d)中，是通过一晶圆切割刀分别对该上压电芯片及该下压电芯片的该第二表面进行依序的切割。

8.一种压电喷墨头的制造方法，其是包括下列步骤：

(a)形成一上压电芯片及一下压电芯片，该上压电芯片及该下压电芯片的第一表面是分别具有一第一电极及一第二电极；

(b)通过一导电层将该第一电极及该第二电极相互接合，以使该上压电芯片与该下压电芯片对应组接；

(c)对该上压电芯片的一第二表面进行等间距切割；

(d)对该下压电芯片的一第二表面进行与该上压电芯片的一第二表面等间距切割错位的切割，以形成多个开口上下交错的流道，以形成一压电致动模块；

(e)于该压电致动模块的该上压电芯片及该下压电芯片的该第二表面上分别设置一上盖板及一下盖板；

(f)于该压电致动模块的一第一侧面设置一密封层，以封闭该多个流道之末端；

(g)于该压电致动模块的一第二侧面设置一喷嘴片，该喷嘴片上具有多个喷墨孔，其是与该多个流道相连通。

9.如权利要求8所述的压电喷墨头的制造方法，其中于步骤(e)中，该上盖板及该下盖板是通过一导电胶与该压电致动模块相连接。

10.如权利要求8所述的压电喷墨头的制造方法，其中该上盖板及下盖板是分别对应连接于该压电致动模块的表面上分别设有墨液导流歧道，该墨液导流歧道连通一入墨孔，供以墨液导引入该压电致动模块流道中。

11.如权利要求8所述的压电喷墨头的制造方法，其中于步骤(f)中，该密封层为一硅胶材料。

12.如权利要求8所述的压电喷墨头的制造方法，其中于步骤(g)中，该喷嘴片与压电致动模块是通过一黏着介质的结构胶对应组接。